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公开(公告)号：CN101432841B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200780015094.8
申请日：2007-04-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/12 , H01J2237/022 , H01J2237/049
摘要： 一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统，此系统可在植入之前先从离子束移除不希望的粒子。入口电极包括进入孔，并被偏压至第一基底电压，其中入口电极包括平坦的第一表面和面向中央电极的凹入第二表面。中央电极位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极位于该中央电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场，和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。
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公开(公告)号：CN101449354A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200780018052.X
申请日：2007-05-17
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J27/08
CPC分类号： H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/304 , H01J37/32467 , H01J2237/002 , H01J2237/082 , H01J2237/31701
摘要： 本发明公开了一种用于产生离子流的示例性离子源，所述离子源具有至少部分地界定电弧室的离子化区的铝合金电弧室主体。电弧室主体和热丝状体电弧室壳体一起使用，所述热丝状体电弧室壳体或者直接或者间接地将阴极加热到足够的温度，以使电子流动通过电弧室的离子化区。温度传感器监测电弧室内的温度，并提供与感测的温度相关的信号。当传感器进行测量时控制器监测感测的温度，并调节温度以将感测的温度保持在一范围内。
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公开(公告)号：CN101449354B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200780018052.X
申请日：2007-05-17
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J27/08
CPC分类号： H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/304 , H01J37/32467 , H01J2237/002 , H01J2237/082 , H01J2237/31701
摘要： 本发明公开了一种用于产生离子流的示例性离子源，所述离子源具有至少部分地界定电弧室的离子化区的铝合金电弧室主体。电弧室主体和热丝状体电弧室壳体一起使用，所述热丝状体电弧室壳体或者直接或者间接地将阴极加热到足够的温度，以使电子流动通过电弧室的离子化区。温度传感器监测电弧室内的温度，并提供与感测的温度相关的信号。当传感器进行测量时控制器监测感测的温度，并调节温度以将感测的温度保持在一范围内。
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公开(公告)号：CN101432841A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200780015094.8
申请日：2007-04-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/12 , H01J2237/022 , H01J2237/049
摘要： 一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统(200)，此系统可在植入之前先从离子束(202)移除不希望的粒子(222)。入口电极(204)包括进入孔(206)，并被偏压至第一基底电压。中央电极(208)位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极(212)位于该中央电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔(214)。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场(218)，和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场(220)，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。
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