- 专利标题: 用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统
- 专利标题(英): Methods and systems for trapping ion beam particles and focusing an ion beam
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申请号: CN200780015094.8申请日: 2007-04-13
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公开(公告)号: CN101432841A公开(公告)日: 2009-05-13
- 发明人: 彼得·克雷曼 , 维特·班威尼斯特 , 亚历山大·普瑞尔 , 布莱恩·弗瑞尔 , 麦可·葛瑞夫
- 申请人: 艾克塞利斯科技公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人: 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王新华
- 优先权: 60/794,947 2006.04.26 US
- 国际申请: PCT/US2007/009272 2007.04.13
- 国际公布: WO2007/127086 EN 2007.11.08
- 进入国家日期: 2008-10-27
- 主分类号: H01J37/12
- IPC分类号: H01J37/12 ; H01J37/317
摘要:
一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统(200),此系统可在植入之前先从离子束(202)移除不希望的粒子(222)。入口电极(204)包括进入孔(206),并被偏压至第一基底电压。中央电极(208)位于该入口电极下游而距其有距离处,并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极(212)位于该中央电极下游而与其具有距离,并且包括出口孔(214)。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场(218),和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场(220),藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。
公开/授权文献
- CN101432841B 用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 公开/授权日:2013-06-26