用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统
摘要:
一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统(200),此系统可在植入之前先从离子束(202)移除不希望的粒子(222)。入口电极(204)包括进入孔(206),并被偏压至第一基底电压。中央电极(208)位于该入口电极下游而距其有距离处,并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极(212)位于该中央电极下游而与其具有距离,并且包括出口孔(214)。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场(218),和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场(220),藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。
0/0