发明公开
- 专利标题: 新型改良的离子源
- 专利标题(英): New and improved ion source
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申请号: CN200780018052.X申请日: 2007-05-17
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公开(公告)号: CN101449354A公开(公告)日: 2009-06-03
- 发明人: 宝·梵德伯格 , 维特·班威尼斯特 , 约翰·法龙 , 艾亚·波奇杜夫
- 申请人: 艾克塞利斯科技公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人: 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王新华
- 优先权: 11/437,547 2006.05.19 US
- 国际申请: PCT/US2007/011863 2007.05.17
- 国际公布: WO2007/136722 EN 2007.11.29
- 进入国家日期: 2008-11-18
- 主分类号: H01J37/317
- IPC分类号: H01J37/317 ; H01J27/02 ; H01J37/08 ; H01J27/08
摘要:
本发明公开了一种用于产生离子流的示例性离子源,所述离子源具有至少部分地界定电弧室的离子化区的铝合金电弧室主体。电弧室主体和热丝状体电弧室壳体一起使用,所述热丝状体电弧室壳体或者直接或者间接地将阴极加热到足够的温度,以使电子流动通过电弧室的离子化区。温度传感器监测电弧室内的温度,并提供与感测的温度相关的信号。当传感器进行测量时控制器监测感测的温度,并调节温度以将感测的温度保持在一范围内。
公开/授权文献
- CN101449354B 新型改良的离子源 公开/授权日:2011-03-30