公开(公告)号：CN101341275B

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN200680041455.1

申请日：2006-11-02

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 卢一镐 ,  崔硕珉 ,  郑领哲

IPC: C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243

Abstract: 本发明提供了沉积有机化合物的设备，以在基底上沉积预定的有机膜。该设备包括沉积室、设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件、在其中安装有有机蒸发器以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上的蒸发器安装部分，以及与蒸发器安装部分相邻设置的用以更换有机蒸发器的蒸发器更换部分。根据该设备，蒸发有机化合物的有机蒸发器自动更换。

公开(公告)号：CN101121511A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710130175.4

申请日：2007-07-20

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 张硕元 ,  郑领哲

IPC: C01B31/02 ,  B82B3/00

CPC classification number: B03C1/286 ,  B03C1/288 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B32/17

Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管制备系统。该碳纳米管制备系统包括反应管，其中供应有金属催化剂和含碳气体并通过热解在该金属催化剂上生长碳纳米管；排放管道，沿该排放管道从该反应管排放含有在该金属催化剂上生长的碳纳米管的气体；以及碳纳米管捕集设备，其安装在该排放管道上并用于借助于磁力捕集在该金属催化剂上生长的碳纳米管。

公开(公告)号：CN101121511B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200710130175.4

申请日：2007-07-20

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 张硕元 ,  郑领哲

IPC: C01B31/02 ,  B82B3/00

CPC classification number: B03C1/286 ,  B03C1/288 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B32/17

Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管制备系统。该碳纳米管制备系统包括反应管，其中供应有金属催化剂和含碳气体并通过热解在该金属催化剂上生长碳纳米管；排放管道，沿该排放管道从该反应管排放含有在该金属催化剂上生长的碳纳米管的气体；以及碳纳米管捕集设备，其安装在该排放管道上并用于借助于磁力捕集在该金属催化剂上生长的碳纳米管，其中所述碳纳米管捕集设备包括：包括内部空间的壳体，其中用于流入排放气体的流入口和用于流出排放气体的流出口与所述内部空间连接；以及安装在所述壳体上的磁块。

公开(公告)号：CN100470752C

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200610002822.9

申请日：2006-02-06

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 安基喆 ,  郑领哲 ,  河泰荣 ,  张祯元 ,  卢一镐 ,  李承培

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/20 ,  H01L21/31 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/00 ,  C23C14/00 ,  C23C16/00

Abstract: 一种在用于有机发光二极管的基底上形成薄层的基底处理装置，该装置包括掩模安装室、沉积室和掩模拆卸室。所述掩模安装室、沉积室和掩模拆卸室的内部安装有传送导轨，而且，用于支撑基底的基底支架沿着传送导轨在这些室内或这些室之间移动。因此，缩短了用于处理基底的时间，并减小了上述装置所占的面积。另外，将上述这些室分成一个或多个组，并在分组的室之间安装闸门阀，以用于打开和关闭分组的室之间的通道。因此，在维修任意室时，其它室可以继续维持为真空状态。

公开(公告)号：CN101341275A

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200680041455.1

申请日：2006-11-02

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 卢一镐 ,  崔硕珉 ,  郑领哲

IPC: C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243

Abstract: 本发明提供了沉积有机化合物的设备，以在基底上沉积预定的有机膜。该设备包括沉积室、设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件、在其中安装有有机蒸发器以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上的蒸发器安装部分，以及与蒸发器安装部分相邻设置的用以更换有机蒸发器的蒸发器更换部分。根据该设备，蒸发有机化合物的有机蒸发器自动更换。

公开(公告)号：CN1841696A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610002822.9

申请日：2006-02-06

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 安基喆 ,  郑领哲 ,  河泰荣 ,  张祯元 ,  卢一镐 ,  李承培

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/20 ,  H01L21/31 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/00 ,  C23C14/00 ,  C23C16/00

Abstract: 一种在用于有机发光二极管的基底上形成薄层的基底处理装置，该装置包括掩模安装室、沉积室和掩模拆卸室。所述掩模安装室、沉积室和掩模拆卸室的内部安装有传送导轨，而且，用于支撑基底的基底支架沿着传送导轨在这些室内或这些室之间移动。因此，缩短了用于处理基底的时间，并减小了上述装置所占的面积。另外，将上述这些室分成一个或多个组，并在分组的室之间安装闸门阀，以用于打开和关闭分组的室之间的通道。因此，在维修任意室时，其它室可以继续维持为真空状态。