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公开(公告)号：CN117476499A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310900439.9
申请日：2023-07-21
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本公开提供了一种能够测量和数字化墨滴的弯月面形状、运动和位置的液滴分析单元及包括该液滴分析单元的基板处理装置。基板处理装置包括：工艺处理单元，在基板被处理时支承基板；喷墨头单元，通过利用多个喷嘴向基板上喷出基板处理液来处理基板；门架单元，使喷墨头单元在基板之上移动；以及液滴分析单元，测量多个喷嘴中的每个中的与基板处理液相关联的弯月面，其中，液滴分析单元基于色差来测量和量化关于弯月面的三维(3D)信息。
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公开(公告)号：CN101316791A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044582.7
申请日：2006-11-29
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 一种用于生产碳纳米管的系统，该系统包括在其中实施在合成基底上生产碳纳米管的工艺的反应室；布置在反应室的一侧并设有用于向/从反应室装载/卸载合成基底的第一输送器的台站部分；安装在所述台站部分内以用于向/从反应室装载/卸载合成基底的第一输送器；基底容纳部分，在该基底容纳部分中，将被装载到反应室内的基底被容纳或从反应室中卸载的合成基底；用于从基底容纳部分抽出合成基底以收回在合成基底上生产的碳纳米管的收回部分；构造成用于在合成基底被容纳在台站部分的基底容纳部分中之前在合成基底上涂覆催化剂的催化剂涂覆单元；用于在收回部分和基底容纳部分之间以及催化剂涂覆单元和基底容纳部分之间输送合成基底的第二输送器。
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公开(公告)号：CN116989994A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310485747.X
申请日：2023-05-04
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 提供了一种喷头寿命评估设备和方法，其能够通过使用具有不同环境的多个腔室来评估喷嘴的寿命，喷头寿命评估设备包括：喷头块，包括用于以喷墨方式喷射处理液的至少一个第一喷嘴；以及腔室块，可拆卸地联接到喷头块，并且包括与第一喷嘴对应的至少一个第一腔室，以评估第一喷嘴在第一环境中的寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116067315A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211277497.2
申请日：2022-10-19
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 提供了一种利用温度传感器阵列测量关于干涉区域的信息的干涉信息测量装置及具有其的基板处理系统。上述干涉信息测量装置包括：激光传感器，其输出第一激光和第二激光使得所述第一激光和所述第二激光交叉；热敏传感器阵列，其穿过由所述第一激光和所述第二激光交叉而形成的干涉区域；以及控制模块，其基于在所述热敏传感器阵列穿过所述干涉区域时获得的信息来测量所述干涉区域的位置。
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公开(公告)号：CN115718107A
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202210946683.4
申请日：2022-08-08
Applicant: 细美事有限公司
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供了一种能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。所述弯月面测量方法包括：提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元；使膜与所述多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜上形成检测图案；以及基于所述检测图案，测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。
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公开(公告)号：CN114664690A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202111498057.5
申请日：2021-12-09
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：液体供应单元，其用于向基板上供应发光源和/或处理液；和电压施加单元，其用于向被供应所述发光源的基板施加电压。
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公开(公告)号：CN110174375A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910035097.2
申请日：2019-01-15
Applicant: 细美事有限公司
IPC: G01N21/45
Abstract: 根据例示性实施例的检查从喷墨头吐出的药液的状态的方法，可向从所述喷墨头吐出的所述药液上照射至少两个激光光线，可通过检测从所述药液通过所述至少两个激光光线而发生的激光散射获得的干涉图案确认所述药液的状态。根据本发明的药液检查方法，一次就能确认所述药液的吐出速度、所述药液的吐出角度、所述药液的体积、所述药液的数量、所述药液的正常或非正常吐出等所述药液的多种状态。
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公开(公告)号：CN106142837B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201610323528.1
申请日：2016-05-16
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 本发明的液滴吐出装置可包括：第一喷墨头，其具有能够向对象体上吐出液滴的多个喷嘴；以及，第二喷墨头，其配置成对应于所述第一喷墨头使得所述第一喷墨头的多个喷嘴中至少一个喷嘴不实质性吐出所述液滴时替代所述第一喷墨头向所述对象体上吐出液滴。本发明的液滴吐出装置即使出现多个喷嘴中一个以上喷嘴无法顺畅吐出液滴的情况，也能够向对象体上全面、适当地吐出液滴。
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