Invention Publication
- Patent Title: 弯月面测量装置及方法、基板处理装置
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Application No.: CN202210946683.4Application Date: 2022-08-08
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Publication No.: CN115718107APublication Date: 2023-02-28
- Inventor: 姜汉林 , 张硕元 , 李载德 , 陈元镛
- Applicant: 细美事有限公司
- Applicant Address: 韩国忠清南道
- Assignee: 细美事有限公司
- Current Assignee: 细美事有限公司
- Current Assignee Address: 韩国忠清南道
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 解媛媛
- Priority: 10-2021-0111858 20210824 KR
- Main IPC: G01N21/956
- IPC: G01N21/956
Abstract:
本发明提供了一种能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。所述弯月面测量方法包括：提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元；使膜与所述多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜上形成检测图案；以及基于所述检测图案，测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。
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