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公开(公告)号：CN108529549A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810154900.X
申请日：2018-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0054 , B81B3/0086 , B81B7/0038 , B81B2201/0264 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81C1/00182 , B81C1/00666 , B81C2203/019 , G01L9/0042 , G01L9/0055 , G01L19/04 , G01L19/0654 , B81B3/0027
Abstract: 本发明提供一种能够降低对于环境湿度的影响并能够发挥优异的压力检测精度的压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备以及移动体。压力传感器具有：基板，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜；侧壁部，其被配置于所述基板的一面侧，并在俯视观察时包围所述隔膜；密封层，其以隔着被所述侧壁部包围的空间而与所述隔膜对置的方式被配置，并对所述空间进行密封，所述密封层具有：第一硅层；第二硅层，其相对于所述第一硅层而位于与所述基板相反的一侧；氧化硅层，其位于所述第一硅层与所述第二硅层之间，所述氧化硅层被所述第二硅层覆盖并相对于外部而被密封。
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公开(公告)号：CN105600735A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510784746.0
申请日：2015-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中信幸
CPC classification number: B81C1/00801 , B81C1/00158 , B81C1/00293 , B81C2201/014 , B81C2203/0136 , G01L5/06 , G01L9/0042 , G01L9/0045 , G01L9/0054 , G01L9/0073 , G01L9/008 , H01L21/76264 , H01L21/76283 , B81B3/0021 , G01L1/18
Abstract: 本发明提供电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计。电子装置以及物理量传感器具有优异的可靠性，此外，压力传感器、高度计、电子设备以及移动体具备所涉及的电子装置。本发明的物理量传感器(1)具备：基板(2)；压敏电阻元件(5)，其被配置于基板(2)的一面侧；壁部，其以在俯视观察基板(2)时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置在基板(2)的一面侧；顶部，其相对于壁部而被配置于与基板相反的一侧，并同壁部一起构成空洞部(S)，在以横切壁部的剖面进行观察时，所述壁部具有绝缘层(631)和配线层(62、64)，配线层(62、64)以相互协同的方式包围绝缘层(631)，并且与绝缘层(631)相比，相对于能够对绝缘层(631)进行蚀刻的蚀刻液的耐性较高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107084817A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710073064.8
申请日：2017-02-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中信幸
IPC: G01L19/06
CPC classification number: G01L19/14 , B81B7/0058 , B81B7/0061 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/012 , B81C1/00333 , B81C2201/0176 , B81C2201/0181 , G01L7/08 , G01L19/06
Abstract: 本发明提供一种能够容易地赋予防水性能的防水部件、防水部件的制造方法、压力传感器及电子模块。防水部件(1)具有：层压体(2)，其具备第二硅层(23)以及第二氧化硅层(24)；贯穿孔(3)，其被设置在层压体(2)上，并阻止液体的通过且容许气体的通过，贯穿孔(3)具有第一贯穿孔(31)和第二贯穿孔(32)，第一贯穿孔(31)贯穿第二硅层(23)，第二贯穿孔(32)贯穿第二氧化硅层(24)且与第一贯穿孔(31)连通，第二贯穿孔(32)的宽度与第一贯穿孔(31)的宽度相比较小。
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公开(公告)号：CN105600734A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510781748.4
申请日：2015-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中信幸
CPC classification number: G01L9/0054 , B81C1/00246 , G01L9/0042 , G01L19/06 , B81B3/0021 , B81B3/007 , G01C5/06 , G01L9/0052
Abstract: 本发明提供电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计。电子装置以及物理量传感器具有优异的可靠性，压力传感器、高度计、电子设备以及移动体具备该电子装置。本发明的物理量传感器(1)具备：基板(2)；压敏电阻元件(5)，其被配置在基板(2)的一面侧；壁部，其以在俯视观察基板(2)时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置在基板(2)的一面侧；覆盖层(641)，其相对于壁部而被配置在与基板(2)相反的一侧，并同壁部一起构成空洞部(S)，覆盖层(641)具有：角部，其被构成为，在俯视观察时包含彼此相邻的两条边；加固部(644、651)，其被配置为连结该两条边。
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公开(公告)号：CN108572042A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810155151.2
申请日：2018-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L19/04 , B81B3/001 , B81B3/0072 , B81B7/0038 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , G01L9/0052 , G01L9/0054 , G01L9/065 , G01L19/0076 , G01L19/0084 , G01L19/06 , G01L19/145 , G01L7/08 , G01L1/04
Abstract: 本发明提供一种能够发挥优异的压力检测精度的压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备及移动体。压力传感器具有：基板，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜；侧壁部，其被配置于所述基板的一面侧，并在俯视观察时包围所述隔膜；密封层，其以隔着空间而与所述隔膜对置的方式被配置，并对所述空间进行密封，所述密封层具有：第一硅层，其具有面对所述空间的贯穿孔；氧化硅层，其相对于所述第一硅层位于与所述空间相反的一侧，并对所述贯穿孔进行密封；第二硅层，其相对于所述氧化硅层而位于与所述空间相反的一侧。
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公开(公告)号：CN105819391A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610034960.9
申请日：2016-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中信幸
CPC classification number: B81C1/00182 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81B7/0009 , G01L1/20
Abstract: 本发明提供一种具有优异的可靠性的电子装置，此外，还提供一种具备所涉及的电子装置的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备：基板(2)；被配置在基板(2)的一面侧的压敏电阻元件(5)；以在对基板(2)进行俯视观察时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置在基板(2)的一面侧的壁部(60)；被配置在基板(2)的一面侧的通孔配线(622)；以在俯视观察时与通孔配线(622)分离的方式而被配置在相对于壁部(60)而与基板(2)相反的一侧，并且与基板(2)以及壁部(60)一起构成了空洞部(S)的覆盖层(641)。
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公开(公告)号：CN105600733A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510780861.0
申请日：2015-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 田中信幸
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0048 , G01L9/005 , B81B3/0072 , G01C5/06 , G01L9/0052
Abstract: 本发明提供电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计。电子装置及物理量传感器具有优异的可靠性，此外，压力传感器、高度计、电子设备及移动体具备该电子装置。本发明的物理量传感器(1)具有：基板；压敏电阻元件(5)，其被配置在基板的一面侧；壁部，其以在俯视观察基板时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置在基板的一面侧；顶部，其相对于壁部而被配置在与基板相反的一侧，并同壁部一起构成空洞部(S)，壁部的与基板相反的一侧的端部的内周缘(643)在俯视观察时具有弯曲的曲部(6431)。
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