-
公开(公告)号：CN108369891A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680071090.0
申请日：2016-12-05
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J61/30
CPC分类号： H01J61/025 , H01J61/302 , H01J61/52 , H01J65/04
摘要： 一种激光维持等离子体灯包含经配置以容置一定体积的气体的气体容置结构。所述气体容置结构经配置以从用于在所述体积的气体内产生等离子体的泵激光器接收泵照明。所述气体容置结构包含一或多个透射结构，所述一或多个透射结构对来自所述泵激光器的所述泵照明和由所述等离子体发射的宽带辐射的至少一部分至少部分地透明。所述一或多个透射结构具有渐变吸收剖面，以便控制由由所述等离子体发射的所述宽带辐射引起的对所述一或多个透射结构的加热。
-
公开(公告)号：CN107636449A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680028562.4
申请日：2016-05-16
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8845 , G03F7/7065
摘要： 本发明揭示一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，所述系统包含经配置以产生具有第一组波长的照明光束的照明源。此外，所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚焦来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到所述检测器的物镜。此外，所述波长滤波子系统包含：经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件、空间滤波器元件，及经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个色散元件。所述空间滤波器元件经进一步定位以传递所述光束的包含第二组波长的至少一部分，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。
-
公开(公告)号：CN115060650A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210656062.2
申请日：2016-05-16
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明涉及用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法。所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚集来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到所述检测器的物镜。此外，所述波长滤波子系统包含：经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件、空间滤波器元件，及经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个第二色散元件。所述空间滤波器元件经进一步定位以传递所述光束的包含第二组波长的至少一部分，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。
-
公开(公告)号：CN108369891B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201680071090.0
申请日：2016-12-05
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J61/30
摘要： 一种激光维持等离子体灯包含经配置以容置一定体积的气体的气体容置结构。所述气体容置结构经配置以从用于在所述体积的气体内产生等离子体的泵激光器接收泵照明。所述气体容置结构包含一或多个透射结构，所述一或多个透射结构对来自所述泵激光器的所述泵照明和由所述等离子体发射的宽带辐射的至少一部分至少部分地透明。所述一或多个透射结构具有渐变吸收剖面，以便控制由由所述等离子体发射的所述宽带辐射引起的对所述一或多个透射结构的加热。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.021 秒)
