Invention Publication
- Patent Title: 具有渐变吸收特征的激光维持等离子体光源
- Patent Title (English): Laser sustained plasma light source with graded absorption features
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Application No.: CN201680071090.0Application Date: 2016-12-05
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Publication No.: CN108369891APublication Date: 2018-08-03
- Inventor: I·贝泽尔 , A·谢梅利宁 , K·P·格罗斯 , M·潘泽尔 , A·希梅尔吉 , L·威尔逊 , J·维滕贝格
- Applicant: 科磊股份有限公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 科磊股份有限公司
- Current Assignee: 科磊股份有限公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 张世俊
- Priority: 62/263,663 2015.12.06 US
- International Application: PCT/US2016/064980 2016.12.05
- International Announcement: WO2017/100130 EN 2017.06.15
- Date entered country: 2018-06-04
- Main IPC: H01J61/30
- IPC: H01J61/30

Abstract:
一种激光维持等离子体灯包含经配置以容置一定体积的气体的气体容置结构。所述气体容置结构经配置以从用于在所述体积的气体内产生等离子体的泵激光器接收泵照明。所述气体容置结构包含一或多个透射结构,所述一或多个透射结构对来自所述泵激光器的所述泵照明和由所述等离子体发射的宽带辐射的至少一部分至少部分地透明。所述一或多个透射结构具有渐变吸收剖面,以便控制由由所述等离子体发射的所述宽带辐射引起的对所述一或多个透射结构的加热。
Public/Granted literature
- CN108369891B 具有渐变吸收特征的激光维持等离子体光源 Public/Granted day:2021-06-18
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