抛光组合物以及使用该抛光组合物的抛光方法

    公开(公告)号:CN1746253B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200510099560.8

    申请日:2005-09-07

    CPC classification number: C09G1/02 B24B37/044 C09K3/1463

    Abstract: 一种抛光组合物,包含有研磨剂;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中的至少一种酸;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中一种酸的钠盐、钾盐和锂盐中的至少一种盐;氧化剂;以及水。

    抛光组合物以及使用该抛光组合物的抛光方法

    公开(公告)号:CN1746253A

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN200510099560.8

    申请日:2005-09-07

    CPC classification number: C09G1/02 B24B37/044 C09K3/1463

    Abstract: 一种抛光组合物,包含有研磨剂;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中的至少一种酸;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中一种酸的钠盐、钾盐和锂盐中的至少一种盐;氧化剂;以及水。

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