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公开(公告)号:CN1939994A
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN200610142160.5
申请日:2006-09-28
Applicant: 福吉米株式会社
CPC classification number: C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 一种抛光组合物,含有研磨颗粒例如胶态二氧化硅、酸例如柠檬酸和正磷酸、氧化剂例如过氧化氢、以及一种选自吡咯及其衍生物的化合物例如苯并三唑。这种抛光组合物适用于磁盘基片的抛光。
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公开(公告)号:CN102105266A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200980130486.8
申请日:2009-06-12
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304 , C01F7/02
CPC classification number: B24D3/00 , C01F7/02 , C01F7/441 , C01P2004/03 , C01P2004/38 , C01P2004/39 , C01P2004/45 , C01P2004/52 , C01P2004/54 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C09K3/1409 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明提供包含一次颗粒的氧化铝颗粒,其一次颗粒每个具有六面体形状及1至5的纵横比。所述氧化铝颗粒优选地具有0.01至0.6μm的平均一次粒径。所述氧化铝颗粒优选地具有5%至70%的α-转化率。此外,所述氧化铝颗粒优选地具有0.01至2μm的平均二次粒径,并且氧化铝颗粒的90%粒径除以氧化铝颗粒的10%粒径所得值优选等于或小于3。所述氧化铝颗粒可用作,例如,对半导体器件基板、硬盘基片、或显示器基板进行抛光的用途中的磨粒。
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公开(公告)号:CN100389161C
公开(公告)日:2008-05-21
申请号:CN200410034215.1
申请日:2004-03-30
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: C09G1/02
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1463 , G11B5/8404
Abstract: 本发明涉及了一种更适于抛光磁盘基质的抛光组合物。此抛光剂抛光组合物含有二氧化硅,含有至少一种选自特殊组中化合物的含磷化合物,含有至少一种由每个具体的酸与氨发生中和反应生成盐的铵盐,过氧化氢和水。
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公开(公告)号:CN1536046A
公开(公告)日:2004-10-13
申请号:CN200410034215.1
申请日:2004-03-30
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: C09G1/02
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1463 , G11B5/8404
Abstract: 本发明涉及了一种更适于抛光磁盘基质的抛光组合物。此抛光剂抛光组合物含有二氧化硅,含有至少一种选自特殊组中化合物的含磷化合物,含有至少一种由每个具体的酸与氨发生中和反应生成盐的铵盐,过氧化氢和水。
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公开(公告)号:CN102105266B
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN200980130486.8
申请日:2009-06-12
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304 , C01F7/02
CPC classification number: B24D3/00 , C01F7/02 , C01F7/441 , C01P2004/03 , C01P2004/38 , C01P2004/39 , C01P2004/45 , C01P2004/52 , C01P2004/54 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C09K3/1409 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明提供包含一次颗粒的氧化铝颗粒,其一次颗粒每个具有六面体形状及1至5的纵横比。所述氧化铝颗粒优选地具有0.01至0.6μm的平均一次粒径。所述氧化铝颗粒优选地具有5%至70%的α-转化率。此外,所述氧化铝颗粒优选地具有0.01至2μm的平均二次粒径,并且氧化铝颗粒的90%粒径除以氧化铝颗粒的10%粒径所得值优选等于或小于3。所述氧化铝颗粒可用作,例如,对半导体器件基板、硬盘基片、或显示器基板进行抛光的用途中的磨粒。
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公开(公告)号:CN1746253B
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200510099560.8
申请日:2005-09-07
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: C09K3/14 , G11B5/84 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044 , C09K3/1463
Abstract: 一种抛光组合物,包含有研磨剂;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中的至少一种酸;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中一种酸的钠盐、钾盐和锂盐中的至少一种盐;氧化剂;以及水。
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公开(公告)号:CN1746253A
公开(公告)日:2006-03-15
申请号:CN200510099560.8
申请日:2005-09-07
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: C09K3/14 , G11B5/84 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044 , C09K3/1463
Abstract: 一种抛光组合物,包含有研磨剂;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中的至少一种酸;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中一种酸的钠盐、钾盐和锂盐中的至少一种盐;氧化剂;以及水。
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