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公开(公告)号：CN106066206A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610171306.2
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: H05B41/30 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J2003/1278 , G01N21/84 , G01N2201/061 , G01N2201/0696 , G01J3/28 , G01B11/06
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108109938A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: G01N21/274 , G01J3/2823 , G01J3/443 , G01N21/66 , H01J37/32963 , H01J37/32972 , H01J2237/2482 , H01L21/681 , H01L22/26 , H05H1/0006
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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公开(公告)号：CN108109938B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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公开(公告)号：CN106066206B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201610171306.2
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: H05B41/30 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J2003/1278 , G01N21/84 , G01N2201/061 , G01N2201/0696
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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公开(公告)号：CN108981917B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201811006601.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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公开(公告)号：CN108981917A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811006601.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: H05B41/30 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J2003/1278 , G01N21/84 , G01N2201/061 , G01N2201/0696
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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