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公开(公告)号：CN1361863A
公开(公告)日：2002-07-31
申请号：CN00810626.6
申请日：2000-07-20
Applicant: 东京电子株式会社
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/32954 , H01J37/3299 , H05H1/0006
Abstract: 一种用于测量等离子体电子密度(比如在1010至1012cm－3范围)并控制等离子体发生器的系统。等离子体电子密度的测量被用作等离子体的辅助处理过程,诸如淀积或蚀刻过程中的反馈控制的一部分。等离子体测量方法和系统两者产生控制电压,该控制电压接着控制等离子体发生器。可编程的频率源顺序地激发置于等离子体处理设备中的开式谐振腔的一些谐振模。谐振模的谐振频率,依赖于反射镜与开式谐振腔间的空间中等离子体电子密度。该设备自动确定开式谐振腔任意选定的谐振模中谐振频率的增加,该增加是因引入等离子体而产生的,并把测量的频率与先前输入的数据比较。比较是用以下装置中的任一种完成的:(1)专用电路,(2)数字信号处理器,和(3)专门编程的通用计算机。比较器对用于修正等离子体发生器的功率输出的控制信号进行计算,这是为获得需要的等离子体电子密度所必须的。
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公开(公告)号：CN106231770A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610815761.1
申请日：2016-09-09
Applicant: 国网江苏省电力公司电力科学研究院 , 国家电网公司 , 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: H05H1/0006 , H05H1/26
Abstract: 本发明公开了一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统，包括等离子体射流发生装置、诊断箱体和气体控制系统，射流发生装置置于诊断箱体内部，通过诊断箱体侧壁上的气体管道接口和电路接口分别与气源和电源相连；诊断箱体具有良好密封性，通过进气口和出气口进行气体调节；侧壁上设计有测量系统接口，用于对等离子体的特性进行诊断。气体控制系统以流量计为主体，控制输入到射流发生装置和诊断箱体中的气体。本发明可根据需要以不同工作气体产生等离子体射流，并控制环境气体成分，结合相应仪器可对等离子体射流的长度、温度、电流、功率和光谱特性进行诊断，以便更好地研究其特性。
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公开(公告)号：CN102172105A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200980138949.5
申请日：2009-09-03
CPC classification number: H05H1/24 , H05H1/0006 , H05H1/46 , H05H2240/10
Abstract: 本发明的课题在于提供等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法，其中，可形成室温以下，特别是零度以下的等离子体，并且在低温至高温的较宽的温度范围内，能够更正确地控制等离子体温度。该装置包括使等离子体用气体变为等离子体的等离子体产生部(40)；等离子体用气体温度控制部(30)，其控制供给等离子体产生部(40)的等离子体用气体的温度，控制等离子体用气体的温度，控制在等离子体产生部(40)中产生的等离子体的温度。
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公开(公告)号：CN107750086A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710897980.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H1/0006 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明公开了一种齿轮状辉光斑图放电的实现方法。该方法通过利用典型的平板电极介质阻挡放电实验装置，并在控制平板介质间隙以及电压的条件下，实现齿轮状辉光斑图放电模式。本发明方法实现了新型的斑图放电模式，对深入研究齿轮状斑图的放电演化过程、放电过程的内部参数以及研究斑图动力学具有重大意义。
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公开(公告)号：CN102172105B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN200980138949.5
申请日：2009-09-03
CPC classification number: H05H1/24 , H05H1/0006 , H05H1/46 , H05H2240/10
Abstract: 本发明的课题在于提供等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法，其中，可形成室温以下，特别是零度以下的等离子体，并且在低温至高温的较宽的温度范围内，能够更正确地控制等离子体温度。该装置包括使等离子体用气体变为等离子体的等离子体产生部(40)；等离子体用气体温度控制部(30)，其控制供给等离子体产生部(40)的等离子体用气体的温度，控制等离子体用气体的温度，控制在等离子体产生部(40)中产生的等离子体的温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101490816A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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公开(公告)号：CN106231769A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610609509.5
申请日：2016-07-28
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006
Abstract: 本发明公开一种用于调节离子推力器放电室等离子体诊断探针测点的装置，包括导轨、密封片组和探针套筒。导轨具有两个挡块，用来约束密封片组。密封片组共有6个宽度相同，长度依次增加的密封片，且在最短的密封片中间开圆形的槽，其余每个密封片中间都开了宽度相等、长度依次增加的圆角矩形孔。通过探针套筒与密封片组的配合，实现探针套筒沿放电室轴向的移动和对放电室壁面的密封。在进行放电室等离子体分布诊断实验时，利用本发明，在不关发动机和真空系统的情况下，就可以完成探针在放电室内轴向和径向测点的连续调整，且同时实现对放电室壁面的密封。
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公开(公告)号：CN105699359A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610032027.8
申请日：2016-01-18
Applicant: 大连理工大学
CPC classification number: G01N21/68 , G01R31/12 , H05H1/0006 , H05H1/2406
Abstract: 大气压空气中获取环状均匀等离子体的实验装置及方法，属于等离子体技术领域。管式地电极(3)紧密包裹在石英介质管(2)外粘贴固定，并通过导线牢固接地；管式高压电极(1)探入到石英介质管(2)内，管式高压电极(1)的顶端处于地电极(3)底端稍下的位置，管式高压电极(1)通过导线连接至双极性纳秒脉冲电源(4)；管式高压电极(1)和管式地电极(3)之间形成环形放电区域。放电等离子体由双极性纳秒脉冲电源(4)激励产生，利用电学诊断系统，光学诊断系统，和图像采集系统，对于产生的环状表面等离子体进行实时的特性诊断。
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公开(公告)号：CN101490816B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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公开(公告)号：CN1204399C
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN00810626.6
申请日：2000-07-20
Applicant: 东京电子株式会社
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/32954 , H01J37/3299 , H05H1/0006
Abstract: 一种用于测量等离子体电子密度(比如在1010至1012cm-3范围)并控制等离子体发生器的系统。等离子体电子密度的测量被用作等离子体的辅助处理过程，诸如淀积或蚀刻过程中的反馈控制的一部分。等离子体测量方法和系统两者产生控制电压，该控制电压接着控制等离子体发生器。可编程的频率源顺序地激发置于等离子体处理设备中的开式谐振腔的一些谐振模。谐振模的谐振频率，依赖于反射镜与开式谐振腔间的空间中等离子体电子密度。该设备自动确定开式谐振腔任意选定的谐振模中谐振频率的增加，该增加是因引入等离子体而产生的，并把测量的频率与先前输入的数据比较。比较是用以下装置中的任一种完成的：(1)专用电路，(2)数字信号处理器，和(3)专门编程的通用计算机。比较器对用于修正等离子体发生器的功率输出的控制信号进行计算，这是为获得需要的等离子体电子密度所必须的。
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