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公开(公告)号：CN106595940A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611256389.1
申请日：2016-12-30
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种柔性多功能传感器，自上而下依次为上柔性薄膜层、上电极层、柔性敏感材料、下电极层和下柔性薄膜层，其中，所述柔性敏感材料由高分子基体材料、导电填料和纳米改性填充剂组成。本发明提供的新型的柔性多功能传感器可作为触觉仿生传感器使用，该传感器可以同时实现对压力和弯曲度的感知，且其制备工艺简单、成本低廉、易于实现大规模生产，为可穿戴设备、机器人等提供了一种柔性、成本低廉的触觉仿生传感器。
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公开(公告)号：CN106498355A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610913940.9
申请日：2016-10-20
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/0036 , C23C14/024 , C23C14/06 , C23C14/0647 , C23C14/081 , C23C14/165 , C23C14/5806 , G01D3/08
Abstract: 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制备方法，属于薄膜传感器技术领域。该抗氧化复合防护层自下而上依次为BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层、Al2O3覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层和Al2O3覆盖层采用蒸发或溅射等方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上。本发明高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，可满足在1000～1700℃高温条件下航空发动机高温薄膜传感器的抗氧化防护需求，有效提高了薄膜传感器在高温高压恶劣环境下的稳定性、可靠性和寿命。
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公开(公告)号：CN108613754A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810366196.4
申请日：2018-04-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K11/30
Abstract: 一种以c轴取向的AlN薄膜为传感器的测温方法，包括：(1)以c轴取向的AlN薄膜作为测温传感器，进行不同温度T下的等时退火处理后，再分别测试退火后薄膜的衍射峰半高宽F，得到F-T标准曲线；(2)将同一批次的AlN薄膜埋设于被测热端部件的表层或表面，并随含被测热端部件的工作系统进行高温运转；(3)取出高温运转后的薄膜，测试其半高宽，通过对比F-T标准曲线，得到与该衍射峰半高宽值相对应的温度值，即为被测热端部件的最高工作温度。本发明方法简单，无需引线及复杂测试设备，无需现场判读，可用于400～1000℃高温工作区间的温度测试，尤其适用于异型结构部件及高速旋转的测试环境下被测部件温度的测量。
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公开(公告)号：CN107201502A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201710311816.X
申请日：2017-05-05
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: Y02T50/6765 , C23C14/35 , C23C14/0664 , C23C14/08 , C23C14/185 , C23C14/5806 , G01M15/00
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，提供一种带自愈合复合防护层的高温薄膜传感器及其制备方法，用以实现传感器微型化、薄膜化应用；本发明薄膜传感器由自下而上依次设置的衬底、薄膜传感器敏感功能层和自愈合复合防护层所构成，其中，所述自愈合复合防护层的结构自下而上依次为YSiO/HfSiBCN周期性多层膜结构，防护层的最下层以及最上层均为YSiO低氧扩散系数层。本发明采用具有周期性多层膜结构的自愈型复合防护层，YSiO低氧扩散系数层和HfSiBCN自愈合层交替沉积形成“层层设防”的抗氧化防护体系，从而使薄膜传感器能够在600℃～1500℃高温条件下能够长时间工作，具有耐高温、耐腐蚀、抗氧化、响应迅速等优点。
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公开(公告)号：CN107012425A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710136413.6
申请日：2017-03-09
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，提供一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法，用以克服现有技术中由于绝缘层与敏感功能层热膨胀系数失配导致功能层高温附着力差的难题；本发明复合绝缘层由自下而上依次重叠的热生长Al2O3层和SiAlO成分梯度层组成，沿薄膜生长方向，所述SiAlO成分梯度层的成分中硅含量递增、同时铝含量递减。本发明复合梯度绝缘层的热膨胀系数可随成分的渐变而发生渐变，实现与不同敏感功能层材料热膨胀系数匹配的需要，减小绝缘层与敏感功能层之间因热膨胀系数失配而产生热应力，提高薄膜传感器的附着力；在高温条件下，可有效保证薄膜传感器的可靠性和稳定性，降低器件的失效几率，延长薄膜传感器的使用寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107012425B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201710136413.6
申请日：2017-03-09
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，提供一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法，用以克服现有技术中由于绝缘层与敏感功能层热膨胀系数失配导致功能层高温附着力差的难题；本发明复合绝缘层由自下而上依次重叠的热生长Al2O3层和SiAlO成分梯度层组成，沿薄膜生长方向，所述SiAlO成分梯度层的成分中硅含量递增、同时铝含量递减。本发明复合梯度绝缘层的热膨胀系数可随成分的渐变而发生渐变，实现与不同敏感功能层材料热膨胀系数匹配的需要，减小绝缘层与敏感功能层之间因热膨胀系数失配而产生热应力，提高薄膜传感器的附着力；在高温条件下，可有效保证薄膜传感器的可靠性和稳定性，降低器件的失效几率，延长薄膜传感器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107142477A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710292784.3
申请日：2017-04-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于薄膜传感器技术领域，提供一种抗热冲击的高温复合绝缘层及其制备方法；该复合绝缘层包括两层结构，自下而上依次为Al2O3～Al‑O‑N梯度层及微晶Al2O3薄膜绝缘层；所述Al2O3～Al‑O‑N梯度层的底层为Al2O3层，顶层为非晶Al‑O‑N薄膜层，且沿薄膜生长方向、N元素含量递增。本发明复合薄膜绝缘层对异型精密构件平面、弯曲、翻折等不同部位均能形成均匀致密的覆盖，有效提高绝缘层的均匀性及高温绝缘性能，有效保证薄膜传感器在高温条件下的可靠性和稳定性；同时，采用溶液法制备，溶胶凝胶法能够轻松完成对较大工件的涂覆，利于实现批量的制备生产；并且溶胶凝胶法成本低廉，操作简易，这些因素使得本发明提供复合绝缘层具有更为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN107142477B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201710292784.3
申请日：2017-04-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于薄膜传感器技术领域，提供一种抗热冲击的高温复合绝缘层及其制备方法；该复合绝缘层包括两层结构，自下而上依次为Al2O3～Al‑O‑N梯度层及微晶Al2O3薄膜绝缘层；所述Al2O3～Al‑O‑N梯度层的底层为Al2O3层，顶层为非晶Al‑O‑N薄膜层，且沿薄膜生长方向、N元素含量递增。本发明复合薄膜绝缘层对异型精密构件平面、弯曲、翻折等不同部位均能形成均匀致密的覆盖，有效提高绝缘层的均匀性及高温绝缘性能，有效保证薄膜传感器在高温条件下的可靠性和稳定性；同时，采用溶液法制备，溶胶凝胶法能够轻松完成对较大工件的涂覆，利于实现批量的制备生产；并且溶胶凝胶法成本低廉，操作简易，这些因素使得本发明提供复合绝缘层具有更为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN108613754B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201810366196.4
申请日：2018-04-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K11/30
Abstract: 一种以c轴取向的AlN薄膜为传感器的测温方法，包括：(1)以c轴取向的AlN薄膜作为测温传感器，进行不同温度T下的等时退火处理后，再分别测试退火后薄膜的衍射峰半高宽F，得到F‑T标准曲线；(2)将同一批次的AlN薄膜埋设于被测热端部件的表层或表面，并随含被测热端部件的工作系统进行高温运转；(3)取出高温运转后的薄膜，测试其半高宽，通过对比F‑T标准曲线，得到与该衍射峰半高宽值相对应的温度值，即为被测热端部件的最高工作温度。本发明方法简单，无需引线及复杂测试设备，无需现场判读，可用于400～1000℃高温工作区间的温度测试，尤其适用于异型结构部件及高速旋转的测试环境下被测部件温度的测量。
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公开(公告)号：CN106498355B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610913940.9
申请日：2016-10-20
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制备方法，属于薄膜传感器技术领域。该抗氧化复合防护层自下而上依次为BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层、Al2O3覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层和Al2O3覆盖层采用蒸发或溅射等方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上。本发明高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，可满足在1000～1700℃高温条件下航空发动机高温薄膜传感器的抗氧化防护需求，有效提高了薄膜传感器在高温高压恶劣环境下的稳定性、可靠性和寿命。
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