-
公开(公告)号:CN113013239A
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN202110249754.0
申请日:2021-03-08
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L29/47 , H01L29/417 , H01L29/06 , H01L29/08 , H01L29/423 , H01L29/739
Abstract: 一种新型源极肖特基接触IGBT结构,包括:集电极金属区,与所述集电极金属区上表面接触的P+型集电区,与所述P+型集电区上表面接触的N+型缓冲层,与所述N+型缓冲层上表面接触的N‑型漂移区,与所述N‑型漂移区上表面接触的P型沟道区,与所述P型沟道区上表面接触的肖特基接触金属源区,将所述P型沟道区和部分肖特基接触金属源区包围的环形结构栅电极,在栅电极与相邻功能层之间设置的一层栅介质层。本发明取缔了传统IGBT所寄生的晶闸管结构,解决了困扰着IGBT的闩锁效应,并且可以降低生产成本,减小器件面积,提高电流驱动能力,并降低导通电阻。
-
公开(公告)号:CN111063685A
公开(公告)日:2020-04-24
申请号:CN201911306288.4
申请日:2019-12-18
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L27/092 , H01L29/06
Abstract: 一种新型互补MOS集成电路基本单元,涉及微电子技术和半导体技术。本发明的新型互补MOS集成电路基本单元采用一种新型的TMOS结构,该结构为纵向结构,在纵向上分别设置有源极半导体区域、沟道半导体区域以及漏极半导体区域;在水平方向上四周环绕着栅极区域,栅极与沟道半导体区之间设置有栅介质层,底部漏极可通过刻槽的方式从外侧引出。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种新型CMOS基本单元,实现大规模集成电路集成度的显著提高;以及由于加入了轻掺杂漂移区,能够有效提升器件的耐压,降低沟道长度减小对器件和电路耐压的影响。
-
公开(公告)号:CN111063685B
公开(公告)日:2023-04-14
申请号:CN201911306288.4
申请日:2019-12-18
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L27/092 , H01L29/06
Abstract: 一种新型互补MOS集成电路基本单元,涉及微电子技术和半导体技术。本发明的新型互补MOS集成电路基本单元采用一种新型的TMOS结构,该结构为纵向结构,在纵向上分别设置有源极半导体区域、沟道半导体区域以及漏极半导体区域;在水平方向上四周环绕着栅极区域,栅极与沟道半导体区之间设置有栅介质层,底部漏极可通过刻槽的方式从外侧引出。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种新型CMOS基本单元,实现大规模集成电路集成度的显著提高;以及由于加入了轻掺杂漂移区,能够有效提升器件的耐压,降低沟道长度减小对器件和电路耐压的影响。
-
公开(公告)号:CN110828459B
公开(公告)日:2022-12-06
申请号:CN201911306287.X
申请日:2019-12-18
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L27/108
Abstract: 一种新型DRAM集成电路的结构,涉及集成电路技术和半导体技术。本发明是基于一种新型的纵向柱状TMOS器件结构,最下层为N+掺杂衬底和N‑外延层作为漏极,中间是P外延层作为栅极沟道,最上方是N+锗硅外延层作为源极。柱状结构的外圈被氧化层包围,其中三面覆盖多晶硅层作为栅极,剩下一面覆盖金属层与MOS管的漏极形成电容。多晶硅上有一个引线孔,接字线。锗硅层上是另一个引线孔,接位线。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种DRAM结构,提供一种新型DRAM集成电路的结构,实现器件的小面积、高电流密度、低导通电阻,从而提高集成电路的集成度、存取速度,以及实现器件和集成电路安全工作电压的提高,而器件和集成电路的功耗仍比传统的器件和集成电路的功耗低。
-
公开(公告)号:CN110828459A
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201911306287.X
申请日:2019-12-18
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L27/108
Abstract: 一种新型DRAM集成电路的结构,涉及集成电路技术和半导体技术。本发明是基于一种新型的纵向柱状TMOS器件结构,最下层为N+掺杂衬底和N-外延层作为漏极,中间是P外延层作为栅极沟道,最上方是N+锗硅外延层作为源极。柱状结构的外圈被氧化层包围,其中三面覆盖多晶硅层作为栅极,剩下一面覆盖金属层与MOS管的漏极形成电容。多晶硅上有一个引线孔,接字线。锗硅层上是另一个引线孔,接位线。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种DRAM结构,提供一种新型DRAM集成电路的结构,实现器件的小面积、高电流密度、低导通电阻,从而提高集成电路的集成度、存取速度,以及实现器件和集成电路安全工作电压的提高,而器件和集成电路的功耗仍比传统的器件和集成电路的功耗低。
-
公开(公告)号:CN112366245A
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN202011236857.5
申请日:2020-11-09
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/115 , H01L31/113 , H01L29/78 , H01L29/10 , H01L23/544
Abstract: 一种新型的辐照离子探测器器件结构,涉及微电子技术和半导体技术。本发明是一种基于体硅增强型NMOS,并通过STI浅槽隔离在P衬底的有源区沟道之间增加一个辐照敏感区,该区域主要是由SiO2组成,当MOS位于工作状态且辐照总剂量较大时,在SiO2辐照敏感区感生出电子,从而形成漏源之间的漏电通道,以此来实现检测辐照的目的。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种带MOS开关的辐射离子探测器器件结构,通过计算器件的漏极电流Id,从而测量外界辐照总剂量的大小及外界的辐照影响。
-
公开(公告)号:CN111934670A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN202010826022.9
申请日:2020-08-17
Applicant: 电子科技大学
IPC: H03K19/17728
Abstract: 一种准N查找表的FPGA架构,涉及集成电路技术。本发明是基于一种准N查找表的FPGA架构的设计,以常用的四查找表FPGA为例,本发明使用的准五查找表,具有五个输入信号及17种输出状态包括16种可编程状态以及1种关断状态。其中五个输入信号包括四个常规输入信号和一个控制输入信号,只有控制信号为低时与四个常规输入信号组成16种可编程输出状态;当控制信号为高时查找表都被关闭,这意味着查找表不存在漏电流。本发明的有益效果是:通过关断待机的查找表,可以显著降低FPGA的静态功耗,解决现在静态功耗过大的问题;可以解决由于FPGA晶体管密度较大带来的成品率较低的问题,当出厂检测FPGA中有小部分查找表功能异常时,可通过软件编程的方式将该损坏部分查找表的控制输入信号长置为0,使损坏的查找表部分保持关闭被禁用,进而防止其影响整个电路的良性。
-
公开(公告)号:CN111668220A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN202010580478.1
申请日:2020-06-23
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种垂直沟道SRAM集成电路结构,涉及微电子技术和半导体技术。本发明的SRAM由6个新型MOS管构成,每个MOS管是纵向结构,设置有锗硅材料源极、沟道、轻掺杂漏极以及环形栅。本发明所要解决的关键技术问题是:利用一种新型MOS管设计SRAM基本单元。新型MOS管共栅极,用锗硅做源极,可以省去金属通孔和互联线的面积。轻掺杂漏极可以提高耐压,不再依赖特征尺寸。四面环形栅极增大对沟道的控制能力,减小阻抗。纵向结构通过外延生长,避免了多次光刻,节省了工艺流程和成本。
-
公开(公告)号:CN112366204B
公开(公告)日:2023-08-11
申请号:CN202011246004.X
申请日:2020-11-10
Applicant: 电子科技大学
IPC: H10B10/00 , H01L27/092 , H01L21/8238
Abstract: 本专利提出一种高集成度纳米墙结构SRAM及实现方法,相比传统在FINFET和GAA中的MOSFET而言,本专利中的MOSFET的栅极不必全包围沟道区,因此,集成密度大大提高;通过NMOS管占用1面侧墙,PMOS管占用3面侧墙来实现P管的宽长比为N管的宽长比的3倍,极大的减小了芯片面积;在同一面纳米墙上可以制做大量MOSFET,MOSFET间由绝缘体隔离,形成类似门海结构;由上述MOSFET构成六管单元SRAM,可大大提高集成度。
-
公开(公告)号:CN112366246A
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN202011242677.8
申请日:2020-11-09
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/115 , H01L31/103 , H01L31/0352 , H01L27/144
Abstract: 一种辐射粒子探测器器件结构,涉及微电子技术和半导体技术。本发明的辐射粒子探测器器件结构在p型硅衬底表面设置有掺杂区,导电沟道和STI区,其中绝缘的STI区将导电沟道隔离开。本发明解决的技术问题是:提供一种辐射粒子探测器器件结构,在未受到辐照时,器件不导通,没有电流流过。在受到一定剂量的辐照后,STI区内产生大量正电荷,在STI与硅衬底交界面附近感应出一圈反型层,作为导电沟道,器件导通。本发明中的器件工作在p阱中,与其他器件隔离,且兼容CMOS工艺,可集成度高,可用于在太空空间中探测辐照。
-
-
-
-
-
-
-
-
-