公开(公告)号：CN107810547B

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201680037201.6

申请日：2016-06-24

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·M·夏勒 ,  威廉·T·维弗 ,  摩根·D·艾文斯 ,  罗伯特·布然特·宝佩特 ,  保罗·E·佩敢堵 ,  朱利安·G·布雷克 ,  大卫·伯拉尼克 ,  阿拉·莫瑞迪亚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明揭示一种设备及利用发光二极管加热的静电夹具。所述利用LED加热的静电夹具包括包含LED加热器的第一子组合件和包括静电夹具的第二子组合件。所述LED衬底加热器子组合件包含具有凹部的基底。多个发光二极管LED安置在所述凹部内。所述LED可为GaN或GaP LED，其在容易由硅吸收的波长处发光，因此有效且快速地加热所述衬底。包括静电夹具的所述第二子组合件安置在所述LED衬底加热器子组合件上。所述静电夹具包含在由所述LED发射的所述波长处为透明的顶部电介质层和内部层。一或多个电极安置于所述顶部电介质层与所述内部层之间以形成所述静电力。

公开(公告)号：CN107810547A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201680037201.6

申请日：2016-06-24

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·M·夏勒 ,  威廉·T·维弗 ,  摩根·D·艾文斯 ,  罗伯特·布然特·宝佩特 ,  保罗·E·佩敢堵 ,  朱利安·G·布雷克 ,  大卫·伯拉尼克 ,  阿拉·莫瑞迪亚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明揭示一种利用LED加热的静电夹具。所述利用LED加热的静电夹具包括包含LED加热器的第一子组合件和包括静电夹具的第二子组合件。所述LED衬底加热器子组合件包含具有凹部的基底。多个发光二极管LED安置在所述凹部内。所述LED可为GaN或GaP LED，其在容易由硅吸收的波长处发光，因此有效且快速地加热所述衬底。包括静电夹具的所述第二子组合件安置在所述LED衬底加热器子组合件上。所述静电夹具包含在由所述LED发射的所述波长处为透明的顶部电介质层和内部层。一或多个电极安置于所述顶部电介质层与所述内部层之间以形成所述静电力。

公开(公告)号：CN107710395A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038070.3

申请日：2016-06-24

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗伯特·布然特·宝佩特 ,  盖瑞·E·维卡 ,  大卫·伯拉尼克 ,  杰森·M·夏勒 ,  威廉·T·维弗

IPC: H01L21/67 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/67109 ,  H05B3/0047

Abstract: 本发明公开了一种在可保持于真空条件下的室内加热基板的系统。发光二极管基板加热器包括基座，所述基座具有被侧壁环绕的凹陷部。多个发光二极管安置于所述凹陷部内。所述发光二极管可为GaN发光二极管或GaP发光二极管，其发射易于被硅或所述硅上的涂层吸收的波长的光，从而高效且迅速地加热所述基板。透明窗口安置于所述凹陷部上方，从而形成用以在其中安置所述发光二极管的被密封的壳体。密封衬垫可安置于所述侧壁与所述窗口之间。