MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺

    公开(公告)号:CN108469260B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN201810282483.7

    申请日:2018-04-02

    IPC分类号: G01C19/5776

    摘要: 本发明公开了一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺,消除零偏方法步骤包括获取MEMS陀螺的振动信号进行过零检测,在零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样后输出;电路包括过零检测电路和ADC采样变换电路,过零检测电路的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,过零检测电路的输出端与ADC采样变换电路的控制端相连,ADC采样变换电路的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连;MEMS陀螺包括前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路。本发明不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,具有检测精确高的优点。

    嵌入频率脉冲转换电路的挠性加表数字伺服电路及方法

    公开(公告)号:CN116972839B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202311229963.4

    申请日:2023-09-22

    摘要: 本发明公开了一种嵌入频率脉冲转换电路的挠性加表数字伺服电路及方法。在控制闭环中直接使用F/V或F/I转换电路来实现石英挠性加速度计表头机械部分的石英摆片的力矩平衡,使数字信号处理电路的频率控制信号与最终输出到力矩线圈上的驱动电流有严格的对应关系,避免了一般控制环使用D/A作为控制输出、A/D作为电流采样带来的量化误差和非线性误差造成的精度损失,由于该频率控制信号可以真实等效于石英挠性加速度计随载体运动所感应的加速度值。因此,本发明将直接输出该频率控制信号作为加速度值的测量数据给到惯导系统,使其无需配置I/F变换电路就可以在保证系统精度的前提下简化系统设计、降低系统功耗、节约成本。

    嵌入频率脉冲转换电路的挠性加表数字伺服电路及方法

    公开(公告)号:CN116972839A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202311229963.4

    申请日:2023-09-22

    摘要: 本发明公开了一种嵌入频率脉冲转换电路的挠性加表数字伺服电路及方法。在控制闭环中直接使用F/V或F/I转换电路来实现石英挠性加速度计表头机械部分的石英摆片的力矩平衡,使数字信号处理电路的频率控制信号与最终输出到力矩线圈上的驱动电流有严格的对应关系,避免了一般控制环使用D/A作为控制输出、A/D作为电流采样带来的量化误差和非线性误差造成的精度损失,由于该频率控制信号可以真实等效于石英挠性加速度计随载体运动所感应的加速度值。因此,本发明将直接输出该频率控制信号作为加速度值的测量数据给到惯导系统,使其无需配置I/F变换电路就可以在保证系统精度的前提下简化系统设计、降低系统功耗、节约成本。

    基于双速率积分陀螺交替互补工作的角度测量方法及装置

    公开(公告)号:CN112066966B

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202011274664.9

    申请日:2020-11-16

    IPC分类号: G01C19/56 G01C1/00

    摘要: 本发明公开了一种基于双速率积分陀螺交替互补工作的角度测量方法及装置,本发明方法包括驱动控制一对速率积分陀螺A、速率积分陀螺B交替互补工作,使得速率积分陀螺A交替处于激励振动状态、自由振动状态,且当速率积分陀螺A、速率积分陀螺B两者状态互补,并选择当前自由振动状态的速率积分陀螺A或速率积分陀螺B的信号作为检测信号。本发明通过采用两个速率积分陀螺的激励振动和自由振动交替互补的工作方式;利用了速率积分陀螺陀螺自由振动状态下的输出精度高的优点,避免了工作时间短的缺点,降低了对陀螺品质因数的要求,可为角度测量提供了一种精度高、动态范围大的全时测量方法。

    一种全量程真空计及其测试方法

    公开(公告)号:CN111595511A

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN202010525596.2

    申请日:2020-06-10

    IPC分类号: G01L21/22

    摘要: 本申请涉及一种全量程真空计及其测试方法。所述真空计包括:敏感模块、控制模块以及数据处理模块,敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元,在控制模块输出的不同的测试模态驱动下,利用敏感单元分别采用频率响应法、频率漂移法测量测量低真空和中真空的测试区间,利用多个尺寸互异的敏感单元,采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间,数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数,根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。

    谐振环/多谐振环六轴惯性传感器

    公开(公告)号:CN109556590A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811301113.X

    申请日:2018-11-02

    IPC分类号: G01C19/5677 G01C19/5691

    摘要: 本发明公开了一种谐振环/多谐振环六轴惯性传感器,谐振环六轴惯性传感器包括谐振环和贴近谐振环布置的电极单元,所述电极单元包括XY轴加速度测量单元、Z轴加速度测量单元、XY轴角速率测量单元、Z轴角速率测量单元,电极均与谐振环间隙布置,其中XY轴为谐振环所在平面,Z轴为谐振环的轴线所在平面。多谐振环六轴惯性传感器包括嵌套布置的两个以上的谐振环六轴惯性传感器。本发明能够实现利用单一谐振环来检测三轴角速率和三轴加速度,具有检测精度高、结构简单紧凑、体积小的优点。

    一种全量程真空计及其测试方法

    公开(公告)号:CN111595511B

    公开(公告)日:2024-10-08

    申请号:CN202010525596.2

    申请日:2020-06-10

    IPC分类号: G01L21/22

    摘要: 本申请涉及一种全量程真空计及其测试方法。所述真空计包括:敏感模块、控制模块以及数据处理模块,敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元,在控制模块输出的不同的测试模态驱动下,利用敏感单元分别采用频率响应法、频率漂移法测量测量低真空和中真空的测试区间,利用多个尺寸互异的敏感单元,采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间,数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数,根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。

    基于双速率积分陀螺交替互补工作的角度测量方法及装置

    公开(公告)号:CN112066966A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202011274664.9

    申请日:2020-11-16

    IPC分类号: G01C19/56 G01C1/00

    摘要: 本发明公开了一种基于双速率积分陀螺交替互补工作的角度测量方法及装置,本发明方法包括驱动控制一对速率积分陀螺A、速率积分陀螺B交替互补工作,使得速率积分陀螺A交替处于激励振动状态、自由振动状态,且当速率积分陀螺A、速率积分陀螺B两者状态互补,并选择当前自由振动状态的速率积分陀螺A或速率积分陀螺B的信号作为检测信号。本发明通过采用两个速率积分陀螺的激励振动和自由振动交替互补的工作方式;利用了速率积分陀螺陀螺自由振动状态下的输出精度高的优点,避免了工作时间短的缺点,降低了对陀螺品质因数的要求,可为角度测量提供了一种精度高、动态范围大的全时测量方法。

    谐振环/多谐振环六轴惯性传感器

    公开(公告)号:CN109556590B

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:CN201811301113.X

    申请日:2018-11-02

    IPC分类号: G01C19/5677 G01C19/5691

    摘要: 本发明公开了一种谐振环/多谐振环六轴惯性传感器,谐振环六轴惯性传感器包括谐振环和贴近谐振环布置的电极单元,所述电极单元包括XY轴加速度测量单元、Z轴加速度测量单元、XY轴角速率测量单元、Z轴角速率测量单元,电极均与谐振环间隙布置,其中XY轴为谐振环所在平面,Z轴为谐振环的轴线所在平面。多谐振环六轴惯性传感器包括嵌套布置的两个以上的谐振环六轴惯性传感器。本发明能够实现利用单一谐振环来检测三轴角速率和三轴加速度,具有检测精度高、结构简单紧凑、体积小的优点。

    MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺

    公开(公告)号:CN108469260A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810282483.7

    申请日:2018-04-02

    IPC分类号: G01C19/5776

    摘要: 本发明公开了一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺,消除零偏方法步骤包括获取MEMS陀螺的振动信号进行过零检测,在零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样后输出;电路包括过零检测电路和ADC采样变换电路,过零检测电路的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,过零检测电路的输出端与ADC采样变换电路的控制端相连,ADC采样变换电路的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连;MEMS陀螺包括前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路。本发明不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,具有检测精确高的优点。