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公开(公告)号:CN109001490A
公开(公告)日:2018-12-14
申请号:CN201810650974.2
申请日:2018-06-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学 , 湖南天羿领航科技有限公司
IPC分类号: G01P15/125
摘要: 本发明公开了一种高灵敏度扭摆式硅微加速度计及其制备方法,硅微加速度计包括连接为一体的硅基板和硅敏感结构,硅敏感结构包括应力释放结构、两对支撑梁、一对耦合敏感质量块以及一对锚点,一对耦合敏感质量块之间对称布置,且每一个耦合敏感质量块均分别通过一根单独的支撑梁和锚点相连、通过另一根单独的支撑梁和应力释放结构连接耦合,每一个耦合敏感质量块的质心位于和锚点相连的支撑梁的中点;制备方法采用干法刻蚀制备。本发明具有器件空间利用率高、敏感质量块有效检测面积大、高灵敏度、成品率高、成本低、加工质量高、加工鲁棒性好、应用范围广的优点。
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公开(公告)号:CN111595511B
公开(公告)日:2024-10-08
申请号:CN202010525596.2
申请日:2020-06-10
申请人: 中国人民解放军国防科技大学 , 湖南天羿领航科技有限公司
IPC分类号: G01L21/22
摘要: 本申请涉及一种全量程真空计及其测试方法。所述真空计包括:敏感模块、控制模块以及数据处理模块,敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元,在控制模块输出的不同的测试模态驱动下,利用敏感单元分别采用频率响应法、频率漂移法测量测量低真空和中真空的测试区间,利用多个尺寸互异的敏感单元,采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间,数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数,根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。
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公开(公告)号:CN109001490B
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN201810650974.2
申请日:2018-06-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学 , 湖南天羿领航科技有限公司
IPC分类号: G01P15/125
摘要: 本发明公开了一种高灵敏度扭摆式硅微加速度计及其制备方法,硅微加速度计包括连接为一体的硅基板和硅敏感结构,硅敏感结构包括应力释放结构、两对支撑梁、一对耦合敏感质量块以及一对锚点,一对耦合敏感质量块之间对称布置,且每一个耦合敏感质量块均分别通过一根单独的支撑梁和锚点相连、通过另一根单独的支撑梁和应力释放结构连接耦合,每一个耦合敏感质量块的质心位于和锚点相连的支撑梁的中点;制备方法采用干法刻蚀制备。本发明具有器件空间利用率高、敏感质量块有效检测面积大、高灵敏度、成品率高、成本低、加工质量高、加工鲁棒性好、应用范围广的优点。
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公开(公告)号:CN111595511A
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:CN202010525596.2
申请日:2020-06-10
申请人: 中国人民解放军国防科技大学 , 湖南天羿领航科技有限公司
IPC分类号: G01L21/22
摘要: 本申请涉及一种全量程真空计及其测试方法。所述真空计包括:敏感模块、控制模块以及数据处理模块,敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元,在控制模块输出的不同的测试模态驱动下,利用敏感单元分别采用频率响应法、频率漂移法测量测量低真空和中真空的测试区间,利用多个尺寸互异的敏感单元,采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间,数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数,根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。
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公开(公告)号:CN212621267U
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN202021059201.6
申请日:2020-06-10
申请人: 中国人民解放军国防科技大学 , 湖南天羿领航科技有限公司
IPC分类号: G01L21/22
摘要: 本申请涉及一种全量程真空计。所述真空计包括:敏感模块、控制模块以及数据处理模块;敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元;控制模块与敏感单元连接;敏感单元通过多个测试模态和多个尺寸互异的敏感单元进行真空测量;数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数,根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN110003658B
公开(公告)日:2021-07-16
申请号:CN201910324153.4
申请日:2019-04-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学
IPC分类号: C08L83/04 , C08K13/06 , C08K9/06 , C08K3/38 , C08K3/34 , C08K7/10 , C08K3/02 , C08K3/40 , C08K3/22
摘要: 本发明公开一种耐烧蚀硅基树脂陶瓷混杂材料及其制备方法,该混杂材料以硅基纤维为增强体,以可光固化硅基树脂为基体,以陶瓷粉体为填料;其制备方法包括陶瓷粉体处理,浆料制备,纤维预处理,浸渍,缠绕、固化成型和脱模五个步骤。与现有技术相比,本发明提供的混杂材料制备方法利用树脂基复合材料的一次性缠绕成型工艺,制备周期短、成本低,同时硅基树脂的光固化能够避免热固化温度高、对设备尺寸和形状限制等不足,有利于硅基树脂/陶瓷混杂材料轴对称防热构件的成型;本发明得到的混杂材料耐温性能介于树脂基复合材料和C/SiC等陶瓷基复合材料之间,能够在800~1300℃氧化性气氛中长时间使用而不发生明显烧蚀。
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公开(公告)号:CN109968757B
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201910323696.4
申请日:2019-04-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学
IPC分类号: B32B9/00 , B32B9/04 , B32B27/42 , B32B27/20 , B32B27/04 , B32B37/06 , B32B37/10 , B32B38/08 , B32B38/00 , B64G1/58
摘要: 提供了一种耐烧蚀轻质防隔热一体化复合材料,该复合材料为夹心结构,中间层以短切纤维为增强体,以酚醛树脂为基体,空心微珠作为隔热填料,上下表面层采用纤维布预浸料贴合,三层共固化提高承载和抗冲刷能力;其制备方法包括陶瓷粉处理、短切纤维和纤维布预处理、混料、烘干、料浆配制、涂刷或浸渍、装模、固化成型和脱模八个步骤。本发明的复合材料能应用于中低热流密度的烧蚀工况,该复合材料一次性成型,制备周期短、成本低,在800~1300℃温度范围表面能形成稳定的耐烧蚀陶瓷层,同时内部空心微球等低密度填料实现隔热功能,实现中低热流密度、氧化条件下的防隔热一体化功能。
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公开(公告)号:CN110003658A
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201910324153.4
申请日:2019-04-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学
IPC分类号: C08L83/04 , C08K13/06 , C08K9/06 , C08K3/38 , C08K3/34 , C08K7/10 , C08K3/02 , C08K3/40 , C08K3/22
摘要: 本发明公开一种耐烧蚀硅基树脂陶瓷混杂材料及其制备方法,该混杂材料以硅基纤维为增强体,以可光固化硅基树脂为基体,以陶瓷粉体为填料;其制备方法包括陶瓷粉体处理,浆料制备,纤维预处理,浸渍,缠绕、固化成型和脱模五个步骤。与现有技术相比,本发明提供的混杂材料制备方法利用树脂基复合材料的一次性缠绕成型工艺,制备周期短、成本低,同时硅基树脂的光固化能够避免热固化温度高、对设备尺寸和形状限制等不足,有利于硅基树脂/陶瓷混杂材料轴对称防热构件的成型;本发明得到的混杂材料耐温性能介于树脂基复合材料和C/SiC等陶瓷基复合材料之间,能够在800~1300℃氧化性气氛中长时间使用而不发生明显烧蚀。
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公开(公告)号:CN109968757A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201910323696.4
申请日:2019-04-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学
IPC分类号: B32B9/00 , B32B9/04 , B32B27/42 , B32B27/20 , B32B27/04 , B32B37/06 , B32B37/10 , B32B38/08 , B32B38/00 , B64G1/58
摘要: 提供了一种耐烧蚀轻质防隔热一体化复合材料,该复合材料为夹心结构,中间层以短切纤维为增强体,以酚醛树脂为基体,空心微珠作为隔热填料,上下表面层采用纤维布预浸料贴合,三层共固化提高承载和抗冲刷能力;其制备方法包括陶瓷粉处理、短切纤维和纤维布预处理、混料、烘干、料浆配制、涂刷或浸渍、装模、固化成型和脱模八个步骤。本发明的复合材料能应用于中低热流密度的烧蚀工况,该复合材料一次性成型,制备周期短、成本低,在800~1300℃温度范围表面能形成稳定的耐烧蚀陶瓷层,同时内部空心微球等低密度填料实现隔热功能,实现中低热流密度、氧化条件下的防隔热一体化功能。
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