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公开(公告)号:CN118613759A
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202380018688.3
申请日:2023-01-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置(1)具有光射出部(2)、相位调整部(3)以及光生成部(4)。光射出部(2)射出具有互不相同的偏振状态的第一光(L1)和第二光(L2)。光生成部(4)基于由相位调整部(3)调整了相位差的第一光(L1)和第二光(L2)生成第三光(L3)。使第一光(L1)和第二光(L2)入射到双折射元件(14)入射。控制部(15)控制双折射元件(14)的温度和向双折射元件(14)施加的电压中的至少一方。光生成部(4)包括基于第一光(L1)和第二光(L2)中的至少一方生成第三光(L3)的非线性光学元件(17)。使从双折射元件(14)射出的第一光(L1)和第二光(L2)入射到光生成部(4)的非线性光学元件(17)。
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公开(公告)号:CN118401814A
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202280082827.4
申请日:2022-07-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明的波前测量装置(1)具备:相位调制部(2),其具有入射有入射光(L0)的空间光调制器(7);图案生成部(3),其生成输入空间光调制器(7)的相位图案(11);拍摄部(4),其具有将由空间光调制器(7)调制的入射光(L0)的一部分作为测量光(L1)进行拍摄的拍摄区域(14);以及解析部(5),其基于由拍摄部(4)的拍摄结果来解析入射光(L0)的波前,图案生成部(3),以由空间光调制器(7)调制的测量光(L1)的聚光光斑(16)随时间偏移至拍摄区域(14)的不同位置的方式,生成测量用虚拟图案(12)偏移至彼此不同的位置的多个相位图案(11)。
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公开(公告)号:CN115210974A
公开(公告)日:2022-10-18
申请号:CN202180017054.7
申请日:2021-02-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/062 , B23K26/0622 , H01S3/00
Abstract: 本发明的激光加工装置(1A)具备:半导体激光元件(2);波形输出部(6),其将输入波形数据(Da)输出;驱动电路(4),其将具有与输入波形数据(Da)对应的时间波形的驱动电流(id)供给至半导体激光元件(2);及加工光学系统(5),其将自半导体激光元件(2)输出的激光照射至被加工物(B)。半导体激光元件(2)输出激光(La),该激光由包含一个或多个光脉冲的二个以上的光脉冲组互相隔开时间间隔地排列而成。二个以上的光脉冲组中的至少二个光脉冲组的时间波形互不相同。时间波形中,包含一个或多个光脉冲各自的时间波形、一个或多个光脉冲各自的时间宽度、及多个光脉冲的时间间隔中的至少一者。由此,实现可将隔开时间差地对被加工物照射时间波形不同的多个光脉冲的结构小型化的激光加工装置及激光加工方法。
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公开(公告)号:CN119032314A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202380030782.0
申请日:2023-02-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , B23K26/064
Abstract: 在空间光调制装置(10)中,检测部(7)检测在空间光调制部(3)调制后的光。推定部(35)基于检测部(7)的检测结果,推定光相对于空间光调制部(3)的入射位置(P2)。由图案设定部(31)设定的相位图案(P1)包含以由在该相位图案(P1)调制后的光在检测部(7)形成多个聚光点的方式构成的相位图案。检测部(7)检测上述聚光点的强度信息。推定部(35)基于在检测部(7)检测到的多个聚光点的强度信息的比较结果,推定光相对于空间光调制部(3)的入射位置(P2)。
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公开(公告)号:CN116057796A
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202180054293.X
申请日:2021-08-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S3/0941
Abstract: 本发明的激光装置包括:沿第1方向延伸的杆状的激光介质;包含第1基座和安装在第1基座的多个激发光源的第1光源单元;在与第1方向交叉的第2方向上与第1光源单元并列设置,包含第2基座和安装在第2基座的多个激发光源的第2光源单元;和支撑激光介质、第1光源单元和第2光源单元的支撑件。第1基座和支撑件中的至少一个包含规定第1基座相对于支撑件的位置的第1规定部,第2基座和支撑件中的至少一个包含规定第2基座相对于支撑件的位置的第2规定部。
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