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发明公开
波前测量装置和波前测量方法审中-实审

公开(公告)号：CN118401814A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280082827.4

申请日：2022-07-15

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 川合一希 , 小林觉 , 加藤义则 , 关根尊史 , 森田宇亮 , 池谷有贵 , 井口琢斗

IPC: G01J9/00

Abstract: 本发明的波前测量装置(1)具备：相位调制部(2)，其具有入射有入射光(L0)的空间光调制器(7)；图案生成部(3)，其生成输入空间光调制器(7)的相位图案(11)；拍摄部(4)，其具有将由空间光调制器(7)调制的入射光(L0)的一部分作为测量光(L1)进行拍摄的拍摄区域(14)；以及解析部(5)，其基于由拍摄部(4)的拍摄结果来解析入射光(L0)的波前，图案生成部(3)，以由空间光调制器(7)调制的测量光(L1)的聚光光斑(16)随时间偏移至拍摄区域(14)的不同位置的方式，生成测量用虚拟图案(12)偏移至彼此不同的位置的多个相位图案(11)。

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