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发明公开
空间光调制装置、加工装置和位置推定方法审中-实审

公开(公告)号：CN119032314A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202380030782.0

申请日：2023-02-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 酒井浩一 , 小林觉 , 川合一希 , 关根尊史 , 加藤义则

IPC: G02F1/01 , B23K26/064

Abstract: 在空间光调制装置(10)中，检测部(7)检测在空间光调制部(3)调制后的光。推定部(35)基于检测部(7)的检测结果，推定光相对于空间光调制部(3)的入射位置(P2)。由图案设定部(31)设定的相位图案(P1)包含以由在该相位图案(P1)调制后的光在检测部(7)形成多个聚光点的方式构成的相位图案。检测部(7)检测上述聚光点的强度信息。推定部(35)基于在检测部(7)检测到的多个聚光点的强度信息的比较结果，推定光相对于空间光调制部(3)的入射位置(P2)。

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