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公开(公告)号：CN106182480A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610791377.2
申请日：2016-08-31
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅加工专用切割设备，旨在提供金刚线晶锭开方机。该种金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了材料损耗，并改善了工作环境；本发明采用新的旋转机构来降低工作台高度，从而减小切割导轮轴距，线弓小，进刀快，切割效率高，避免了因为硬质点造成的切割尺寸偏差；本发明在底部导轮处增加了水平移动功能，在第二次进刀时将切割线由竖直变为斜线，仅在晶锭上方切出一个切入口，从而避免了尺寸无法控制及崩边。
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公开(公告)号：CN105643820A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610158042.7
申请日：2016-03-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅棒加工专用切割设备，旨在提供金刚线单晶硅棒切方设备。该金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒，且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。本发明结构紧凑，布局合理；本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明大大改善了工作环境，实现了环保生产。
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公开(公告)号：CN105563674A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610101068.8
申请日：2016-02-24
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
CPC分类号： B28D5/045 , B28D5/0058 , B28D5/0082
摘要： 本发明涉及多晶硅加工专用切割设备技术领域，旨在提供金刚线多晶硅锭开方机。该金刚线多晶硅锭开方机包括大底架、进刀部件、左张力电机安装架、右张力电机安装架、工作台、机械手安装架、龙门架、导向导轮、切割导轮安装架、切割导轮、主导轨、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、导向轮驱动电机，能利用金刚线切割晶锭。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明使工作环境大大改善，实现了环保生产；本发明采用水平方向进刀，线弓小，进刀快，切割效率高；且导轮数量少，线网简单易布。
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公开(公告)号：CN105643820B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201610158042.7
申请日：2016-03-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅棒加工专用切割设备，旨在提供金刚线单晶硅棒切方设备。该金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒，且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。本发明结构紧凑，布局合理；本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明大大改善了工作环境，实现了环保生产。
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公开(公告)号：CN106182480B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201610791377.2
申请日：2016-08-31
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅加工专用切割设备，旨在提供金刚线晶锭开方机。该种金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了材料损耗，并改善了工作环境；本发明采用新的旋转机构来降低工作台高度，从而减小切割导轮轴距，线弓小，进刀快，切割效率高，避免了因为硬质点造成的切割尺寸偏差；本发明在底部导轮处增加了水平移动功能，在第二次进刀时将切割线由竖直变为斜线，仅在晶锭上方切出一个切入口，从而避免了尺寸无法控制及崩边。
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公开(公告)号：CN105563674B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201610101068.8
申请日：2016-02-24
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅加工专用切割设备技术领域，旨在提供金刚线多晶硅锭开方机。该金刚线多晶硅锭开方机包括大底架、进刀部件、左张力电机安装架、右张力电机安装架、工作台、机械手安装架、龙门架、导向导轮、切割导轮安装架、切割导轮、主导轨、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、导向轮驱动电机，能利用金刚线切割晶锭。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明使工作环境大大改善，实现了环保生产；本发明采用水平方向进刀，线弓小，进刀快，切割效率高；且导轮数量少，线网简单易布。
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公开(公告)号：CN207408033U
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201721392445.4
申请日：2017-10-26
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： G01L5/04
摘要： 本实用新型涉及单晶硅金刚线切片机的辅助设备，旨在提供一种带迷宫密封的线锯张力测量装置。该种带迷宫密封的线锯张力测量装置包括传感器安装座、传感器轴、传感器后盖、轴承安装座、轴承、轴承内压盖、轴承外压盖、张力传感器、张力测量导轮、传感器信号处理电路板，传感器信号处理电路与测量装置设计成一体。本实用新型在工作状态时，可有效防止传感器信号受到外部环境的干扰及信号的衰减，能获得更灵敏、准确的张力信号，更能有效防止切割液、硅粉、硅泥进入传感器内部的可能性，能有效确保张力导轮的灵活性。
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公开(公告)号：CN205497824U
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201620215694.5
申请日：2016-03-18
申请人： 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及单晶硅棒加工技术，旨在提供一种线偏检测机构。该种线偏检测机构包括左线偏检测组件、右线偏检测组件、安装架，左线偏检测组件、右线偏检测组件对应设置在安装架中的左侧和右侧，所述线偏检测组件包括滚轮、主轴、轴承安装座、轴承、垫圈、轴承压盖、锁紧螺母、编码器安装座、联轴器和编码器。本实用新型使用编码器来检测线偏，大大降低了成本，简单的机械结构使其能够适应大量硅粉及水雾的工作环境，两个并排安装的滚轮同时也起到了机械限制金刚线偏移的作用。
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公开(公告)号：CN219658681U
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202321287046.7
申请日：2023-05-25
申请人： 浙江求是创芯半导体设备有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01J37/32
摘要： 本实用新型公开了一种晶圆升降装置及半导体加工设备，该晶圆升降装置包括支撑管、第一端板、第二端板、驱动机构以及波纹管，支撑管的一端伸入晶圆盒，且用于支撑晶圆，第一端板套设于支撑管的一端且与晶圆盒贴合，第二端板连接于支撑管的另一端且封闭支撑管，驱动机构的动力输出端与第二端板相连且伸入支撑管内部，波纹管套设于支撑管，且两端与第一端板和第二端板密封连接。该晶圆升降装置的密封性能较好，较好地避免了外部污染物进入晶圆盒内，降低了晶圆被污染的几率。
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公开(公告)号：CN205601003U
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201620301088.5
申请日：2016-04-11
申请人： 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及单晶硅装备辅助设备，旨在提供气缸驱动式自动支撑装置。该气缸驱动式自动支撑装置包括气缸、焊接安装座、支撑滑块、轴承安装块、夹紧垫块、支撑条、导向组件、浮动接头，两个支撑条平行安装在焊接安装座的U型结构内，两块支撑滑块分别安装在支撑条上，两个夹紧垫块分别利用对应的轴承安装块固定在对应的支撑滑块上，两个气缸分别安装在焊接安装座的两侧，气缸的活塞杆利用浮动接头与对应的支撑滑块连接，导向组件使两块支撑滑块在气缸的驱动下在支撑条上作相对直线运动。本实用新型能自动支撑晶棒，限制了晶棒截断面在水平和竖直方向上的位置，减小了晶棒在截断过程中的细微位移，能够有效消除现存晶棒截断崩边问题。
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