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公开(公告)号:CN105729644B
公开(公告)日:2017-07-21
申请号:CN201610194944.6
申请日:2016-03-31
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本发明涉及单晶硅金刚线切割加工设备辅助设备,旨在提供一种单晶硅棒金刚线进刀装置。该种单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆,能利用金刚线切割单晶硅。本发明采用利用收放线装置、排线装置及各导轮组件保证金刚线往复运动平稳,利用滚珠丝杆传动保证进给切割平稳,从而使晶棒切割表面质量好;采用金刚线能减少环境污染,减小硅损耗;三工位及切断自动检测显著提高生产效率。
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公开(公告)号:CN105729644A
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201610194944.6
申请日:2016-03-31
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本发明涉及单晶硅金刚线切割加工设备辅助设备,旨在提供一种单晶硅棒金刚线进刀装置。该种单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆,能利用金刚线切割单晶硅。本发明采用利用收放线装置、排线装置及各导轮组件保证金刚线往复运动平稳,利用滚珠丝杆传动保证进给切割平稳,从而使晶棒切割表面质量好;采用金刚线能减少环境污染,减小硅损耗;三工位及切断自动检测显著提高生产效率。
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公开(公告)号:CN210148452U
公开(公告)日:2020-03-17
申请号:CN201821553626.5
申请日:2018-09-23
申请人: 绍兴上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型公开一种单晶硅棒线开方防砸线防崩边装置,包括边皮夹持机构安装板,边皮夹持机构安装板上安装有至少一边皮夹持机构组件;边皮夹持机构组件包括气缸安装架、安装在气缸安装架上并且用于在气缸安装架上左右调整位置的驱动气缸、和设置在驱动气缸下方的一夹持机构;驱动气缸的活塞杆的自由端固定有联动块;夹持机构包括一对对称设置的手爪连杆及设置在手爪连杆上的吸盘组件,每个手爪连杆一端部与联动块滑动连接并且靠近手爪连杆一端部的手爪连杆还以旋转副的方式与气缸安装架连接,每个手爪连杆另一端部与用于吸取硅棒边皮的吸盘组件连接。本实用设有的边皮夹持机构组件能够吸取硅棒切割产生的边皮,防止边皮在掉落的瞬间砸断金刚线。
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公开(公告)号:CN207269017U
公开(公告)日:2018-04-24
申请号:CN201721207917.4
申请日:2017-09-20
申请人: 绍兴上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及半导体硅棒检测技术领域,特别涉及一种半导体硅棒全自动对中检测机构。一种半导体硅棒全自动对中检测机构,包括安装支架,所述安装支架上相对称的安装有一对电缸,所述一对电缸用于分别在安装支架上相对的上下移动,所述电缸与伺服电机连接,所述电缸上安装有气缸,所述气缸伸出端装有接触式传感器,气缸带动接触式传感器做来回伸缩运动。本实用新型的有益效果是:实现了半导体硅棒的全自动对中检测,全程无需人手工测量,降低了测量误差的同时提升了测量精度,能够降低硅棒切割后的面斜率,提升原料的利用率。
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公开(公告)号:CN205601002U
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201620271148.3
申请日:2016-04-01
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及晶棒切割技术,旨在提供单晶硅棒单线截断机。该单晶硅棒单线截断机包括底架组件、进刀单元、机械手组件、下料台组件,能利用金刚线切割的方式对单晶硅棒进行截断加工。使用本实用新型进行晶棒的截断加工时,可一次实现三根晶棒的切头尾、切样片及等长截断加工,三根晶棒同时加工,节约了加工耗时;另外,本实用新型采用金刚线作为切割线,割痕窄、硅耗少、切面平整,切割完的晶棒中转搬运由机械手自动完成,减少了人工操作。
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公开(公告)号:CN205497827U
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201620261846.5
申请日:2016-03-31
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及单晶硅金刚线切割加工设备辅助设备,旨在提供一种单晶硅棒金刚线进刀装置。该种单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆,能利用金刚线切割单晶硅。本实用新型采用利用收放线装置、排线装置及各导轮组件保证金刚线往复运动平稳,利用滚珠丝杆传动保证进给切割平稳,从而使晶棒切割表面质量好;采用金刚线能减少环境污染,减小硅损耗;三工位及切断自动检测显著提高生产效率。
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公开(公告)号:CN205497824U
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201620215694.5
申请日:2016-03-18
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及单晶硅棒加工技术,旨在提供一种线偏检测机构。该种线偏检测机构包括左线偏检测组件、右线偏检测组件、安装架,左线偏检测组件、右线偏检测组件对应设置在安装架中的左侧和右侧,所述线偏检测组件包括滚轮、主轴、轴承安装座、轴承、垫圈、轴承压盖、锁紧螺母、编码器安装座、联轴器和编码器。本实用新型使用编码器来检测线偏,大大降低了成本,简单的机械结构使其能够适应大量硅粉及水雾的工作环境,两个并排安装的滚轮同时也起到了机械限制金刚线偏移的作用。
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公开(公告)号:CN205818204U
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:CN201620301878.3
申请日:2016-04-12
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及单晶截断机辅助设备,旨在提供一种单晶截断机晶棒装料装置。该种单晶截断机晶棒装料装置包括框架、垂直升降组件、支撑组件、夹紧组件、丝杆、丝杆螺母、夹紧块和液压泵,垂直升降组件嵌套在框架中,液压泵的液压活塞杆与垂直升降组件连接,支撑组件安装在垂直升降组件上,滚轮安装在支撑组件中,滚轮和夹紧块配合悬臂支撑晶棒,且通过丝杆转动能控制夹紧块的上下位置,使夹紧块和滚轮接触夹紧晶棒,夹紧组件安装在支撑组件上,用于夹紧晶棒。本实用新型能减少人工参与度,提升单晶硅棒截断机自动化程度,降低晶棒在运输上料过程中非必须耗材成本,大幅度提高生产效率。
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公开(公告)号:CN205497826U
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201620256835.8
申请日:2016-03-30
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及单晶硅线切割加工设备辅助设备,旨在提供一种金刚线收放线装置。该种金刚线收放线装置包括收放线轮、导轨、滑块、排线组件底板、凸轮、弹簧限位块、排线电机安装座、排线组件盖板、弹簧螺杆、弹簧、弹簧限位柱、收放线电机、卷线电机盖板、卷线电机安装座、收放线轮连接座、收放线轮压盖、卷线电机安装座套筒、凸轮随动器、减速机和排线电机。本实用新型结构简单紧凑,使用本实用新型进行金刚线收放线,能够使金刚线均匀绕在收放线轮上;收放线时的排线均匀使金刚线在切割时极大的提高了切割平稳性,也即是提高了切割表面平整度,能有效减少金刚线损耗,提高使用寿命。
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公开(公告)号:CN205818203U
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:CN201620301690.9
申请日:2016-04-12
申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及晶棒单线截断机的辅助设备,旨在提供一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置。该种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置包括晶棒端面本体、气缸固定架、气缸、吸盘气缸连接杆、吸盘、晶棒端面垫板、导轨、滑块、丝杆、电机、减速机、减速机过渡板、联轴器、电机支撑座、丝杆螺母座、吸盘反馈检测组件、限位开关组件、底座。本实用新型实现了单晶硅棒长度测量的自动化,有效提高了单晶硅棒的切割精度及生产效率,有利于晶棒单线截断机实现自动化生产。
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