一种单晶硅片衬底边缘腐蚀装置及方法

    公开(公告)号:CN118099033A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410192894.2

    申请日:2024-02-21

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/02

    摘要: 本发明公开了一种单晶硅片衬底边缘腐蚀装置及方法,该装置包括主体基座以及设于主体基座的硅片载台,硅片载台用于承载硅片,该装置还包括三维运动手臂以及与三维运动手臂连接的腐蚀系统,所述腐蚀系统包括注射器组件,所述注射器组件包括注射器I、注射器II和注射器III,所述注射器I、注射器II和注射器III分别用于喷射腐蚀液、纯水以及SC‑1药液,所述三维运动手臂按照预设运动路径带动注射器组件运动,从而将腐蚀液、纯水、SC‑1药液喷射在硅片边缘所需腐蚀区域。本发明解决了现有技术中碱腐蚀硅片的边缘不良问题。

    一种可列车自主控制的智能转辙机

    公开(公告)号:CN111645720A

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN202010363470.X

    申请日:2020-04-30

    IPC分类号: B61L5/06 B61L5/10

    摘要: 本发明公开了一种可列车自主控制的智能转辙机,包括转辙机驱动装置、转辙机位置表示装置以及核心处理板,转辙机驱动装置包括电机、传动机构、动作杆,电机通过传动机构驱动动作杆,动作杆带动道岔尖轨动作,核心处理板控制电机动作,转辙机位置表示装置包括表示杆和表示杆监测传感器,表示杆随着道岔尖轨的动作进行移动,表示杆监测传感器用于监测表示杆位置以监测道岔尖轨当前位置;核心处理板设有接收车载控制器下发的道岔正位和反位控制命令的无线通讯模块。本发明可实现列车自主控制转辙机,转辙机的位置表示采用随着道岔尖轨进行移动的表示杆以及监测表示杆的表示杆监测传感器,代替现有自动开闭器机构,简化了结构。

    一种具有故障预测功能的列车障碍物检测装置及列车

    公开(公告)号:CN109827686A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910099203.3

    申请日:2019-01-31

    摘要: 本发明公开了一种具有故障预测功能的列车障碍物检测装置及列车,包括检测横梁以及与检测横梁活动连接的检测板,检测板在接触到障碍物时向检测横梁运动,所述检测横梁与检测板之间设有检测该检测板运动的接触检测传感器,所述检测板连接有检测检测板裂纹的裂纹监测传感器,信号采集单元采集接触检测传感器、裂纹监测传感器的信号并传输给数据处理单元,数据处理单元对信号进行分析判断,并将结果上传给车载控制器。本发明可以准确检测障碍物,且具有故障预测功能,当出现疲劳等故障问题会报警进行维护。

    一种提高传送效率的纸币接收机暂存装置

    公开(公告)号:CN106447913B

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201610580869.7

    申请日:2014-11-19

    IPC分类号: G07D11/12 G07D11/14 G07D11/16

    摘要: 本发明公开了一种提高传送效率的纸币接收机暂存装置,包括暂存鼓以及第一皮带组和第二皮带组,第一皮带组和第二皮带组与暂存鼓之间形成纸币暂存通道,在纸币暂存入口外侧设有第三皮带组、第四皮带组和第五皮带组,第三皮带组和第四皮带之间组夹持形成纸币进钞通道,第四皮带组和第五皮带组之间夹持形成纸币缓冲通道,其中,纸币进钞通道的出口、纸币缓冲通道的入口与纸币暂存入口相接形成岔道口,纸币暂存入口的第一侧与纸币进钞通道出口之间设有第一扳道,纸币暂存入口的第二侧与纸币缓冲通道入口之间设有第二扳道,纸币暂存出口处设有第三扳道。本发明减少了纸币处理的传送流程和处理时间,并减少纸币处理的卡币发生概率。

    一种自助设备终端的闸门装置

    公开(公告)号:CN106408757B

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201610552523.6

    申请日:2014-12-18

    IPC分类号: G07F9/00

    摘要: 本发明公开了一种自助设备终端的闸门装置,包括底座支架及安装于底座支架上的步进电机和闸门板,所述闸门板由步进电机驱动上升,所述步进电机的输出轴连接有传送机构,所述闸门板与底座支架之间设置有连杆机构,所述步进电机控制传送机构旋转并带动闸门板上升,在传送机构旋转至闸门板最高点的闭合转换位置时,闸门板依靠重力下降并闭合,所述传送机构与闸门板之间设置有锁定闸门板在闭合和开启状态下位置的自锁结构,所述连杆机构保持闸门板上下运动的轨迹。本发明在闸门板关闭位置和开启位置机构均能实现自锁,因此具有了防撬功能,另外,闸门板的回复关闭采用自身重力作用,具有了防夹手功能。

    一种剪式门闸机的传动机构

    公开(公告)号:CN103556585B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201310578738.1

    申请日:2013-11-18

    IPC分类号: E01F13/06

    摘要: 本发明公开了一种剪式门闸机的传动机构,包括电机和门板,所述电机的转轴套接偏心盘的旋转中心,所述偏心盘上套有一轴承,所述轴承与门板保持紧密接触,所述偏心盘转动驱动门板开合,门板开合过程中,所述轴承沿与门板接触侧的侧边滚动。目前在电机驱动门板开合的传动机构中的凸轮结构可根据行人通行速度进行优化设计,但由于凸轮在与门板接触过程中滑动摩擦力易造成凸轮的磨损。无法使门板开合到位,更影响了凸轮开关门速度的控制。偏心盘作为凸轮中的一种存在着同样的问题。本发明将偏心盘与门板之间的滑动摩擦力变成轴承与门板之间的滚动摩擦力,减小了设备磨损,降低了因更换磨损设备的成本。

    一种单张纸币连续传输装置

    公开(公告)号:CN105374112A

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201510776199.1

    申请日:2014-01-14

    IPC分类号: G07D11/00

    CPC分类号: G07D11/0033

    摘要: 本发明公开了一种单张纸币连续传输装置,包括单张捻钞装置、纸币传送机构以及送币口,所述单张捻钞装置从存币仓内堆叠纸币的底部单张捻走纸币并送入纸币传送机构,所述纸币传送机构传送纸币至送币口,所述单张捻钞装置包括单向轮及设于单向轮下方的捻钞轮,所述捻钞轮上设有捻钞橡胶,所述单向轮安装于单向轴承上,所述单向轮连接有手拧调节轮,所述手拧调节轮调节单向轮与捻钞轮的间隙。本发明可代替了人工作业,避免了大量简单重复的人工作业,也提高了工作效率。

    一种空间可调节的室外物流配送机器人

    公开(公告)号:CN117048988A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202310962059.8

    申请日:2023-08-02

    IPC分类号: B65D25/06

    摘要: 本发明公开了一种空间可调节的室外物流配送机器人,包括设有储存箱的机器人本体,所述储存箱的开口设有箱门,所述储存箱内设有水平设置的第一隔板和竖向设置的第二隔板,所述第一隔板上设有第一导向槽,所述第二隔板上设有第二导向槽,所述第一隔板和第二隔板通过第一导向槽和第二导向槽相互交叉滑动连接;所述第一隔板由第一驱动件驱动升降,所述第二隔板由第二驱动件驱动横向移动,通过第一隔板和第二隔板交叉滑动在储存箱内分隔出储存空间可变的储存分区。本发明便于对包裹进行分类储存,无需在卸货时进行分类,提高了卸货的效率。

    一种实现多点快速检测的地基沉降检测装置、车辆及方法

    公开(公告)号:CN116659453A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310386205.7

    申请日:2023-04-12

    IPC分类号: G01C5/00 E02D33/00

    摘要: 本发明公开了一种实现多点快速检测的地基沉降检测装置、车辆及方法,其中检测装置包括快装底座、安装立柱、沿安装立柱的高度方向间隔设置的两个安装支架、对应安装支架设置的相机检测模块、与相机检测模块通信连接的双目立体摄影测量系统;两台相机构成标注物数字图像信息采集模块,对现场标注物进行实时拍摄,获取标注物数字图像信息;双目立体摄影测量系统根据标注物数字图像信息得到标注物的三维空间坐标信息,并计算得出测量系统与标注物的高度关系、测量面相对于标注物的相对高度信息、地基的沉降数据。本发明提高了测试精度,支持车载安装,可实现道路各个沉降测试点的快速、实时检测。

    一种模块化集成的隧道综合巡检机器人

    公开(公告)号:CN115653686A

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202211159015.3

    申请日:2022-09-22

    IPC分类号: E21F17/18 E21F17/00

    摘要: 本发明公开了一种模块化集成的隧道综合巡检机器人,包括巡检移动平台,所述巡检移动平台上设有隧道表面病害采集模块、钢轨及道床表面病害采集模块,隧道表面病害采集模块包括隧道3D扫描仪支撑杆、安装于隧道3D扫描仪支撑杆的隧道3D扫描仪、沿隧道的圆弧方向间隔分布的若干隧道线阵相机和背光光源;钢轨及道床表面病害采集模块包括轨道3D线激光扫描仪、线扫光源、轨道相机。本发明可以同时完成隧道表面病害检测、隧道结构病害检测、钢轨及道床表面病害、钢轨全状态参数检测,并且隧道表面病害采集模块、钢轨及道床表面病害采集模块均采用独立的模块化设计,可根据检测专业要求进行快速组装。