公开(公告)号：CN109003934B9

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN201810576194.8

申请日：2018-06-06

Applicant: 泰姆普雷斯艾普公司 ,  索雷泰克私人有限责任公司

Inventor： 彼得·罗埃尔弗·维尼玛 ,  马滕·罗纳德·雷内斯 ,  罗纳德·亨利卡·玛丽亚·范迪克 ,  约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H01L31/18

Abstract: 本申请公开了晶圆夹持器组件、系统及其用途。晶圆夹持器组件设置有至少一个晶圆夹持器(50)，该晶圆夹持器包括基座(51)和桥接元件(52)；真空装置，其包括用于施加负压的软管(53)和至少一个抽吸区域(54)，被配置用于借助于所施加的负压保持晶圆(10)；框架(60)，其联接到桥接元件(52)。框架(60)设置有被配置用于接触晶圆舟的定位装置(57)，以便将晶圆定位在距晶圆舟的预定距离处。在框架(60)与桥接元件(52)或包括抽吸设备(54)的保持板(70)之间存在弹性联接件(56)，如果存在这样的保持板的话。

公开(公告)号：CN109003934B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN201810576194.8

申请日：2018-06-06

Applicant: 泰姆普雷斯艾普公司 ,  索雷泰克私人有限责任公司

Inventor： 彼得·罗埃尔弗·维尼玛 ,  马滕·罗纳德·雷内斯 ,  罗纳德·亨利卡·玛丽亚·范迪克 ,  约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H01L31/18

Abstract: 本申请公开了晶圆夹持器组件、系统及其用途。晶圆夹持器组件设置有至少一个晶圆夹持器(50)，该晶圆夹持器包括基座(51)和桥接元件(52)；真空装置，其包括用于施加负压的软管(53)和至少一个抽吸区域(54)，被配置用于借助于所施加的负压保持晶圆(10)；框架(60)，其联接到桥接元件(52)。框架(60)设置有被配置用于接触晶圆舟的定位装置(57)，以便将晶圆定位在距晶圆舟的预定距离处。在框架(60)与桥接元件(52)或包括抽吸设备(54)的保持板(70)之间存在弹性联接件(56)，如果存在这样的保持板的话。

公开(公告)号：CN109003934A

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201810576194.8

申请日：2018-06-06

Applicant: 泰姆普雷斯艾普公司 ,  索雷泰克私人有限责任公司

Inventor： 彼得·罗埃尔弗·维尼玛 ,  马滕·罗纳德·雷内斯 ,  罗纳德·亨利卡·玛丽亚·范迪克 ,  约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L21/6838 ,  C23C16/4588 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68707 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1876 ,  H01L21/673

Abstract: 本申请公开了晶圆夹持器组件、系统及其用途。晶圆夹持器组件设置有至少一个晶圆夹持器(50)，该晶圆夹持器包括基座(51)和桥接元件(52)；真空装置，其包括用于施加负压的软管(53)和至少一个抽吸区域(54)，被配置用于借助于所施加的负压保持晶圆(10)；框架(60)，其联接到桥接元件(52)。框架(60)设置有被配置用于接触晶圆舟的定位装置(57)，以便将晶圆定位在距晶圆舟的预定距离处。在框架(60)与桥接元件(52)或包括抽吸设备(54)的保持板(70)之间存在弹性联接件(56)，如果存在这样的保持板的话。

公开(公告)号：CN107881490A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201710919181.1

申请日：2017-09-30

Applicant: 泰姆普雷斯艾普公司

Inventor： 马尔科姆·约翰·哈里斯 ,  彼得·罗埃尔弗·维尼玛 ,  马滕·罗纳德·雷内斯 ,  约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯

IPC: C23C16/48 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52 ,  H01L31/18

CPC classification number: C23C16/4587 ,  C23C16/46 ,  C23C16/481 ,  C23C16/52 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67313 ,  C23C16/513 ,  H01L31/18

Abstract: 本申请公开了化学气相沉积装置及其用途。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装置包括配置用于具有基板的晶圆舟(10)的管状室(100)。PECVD装置还包括布置在室外侧并被配置用于借助于辐射来发射热的加热工具(110)、以及用于控制室(100)内部的包括温度和组成的状态的控制器。在这里，加热工具(110)配置用于根据在室内的径向变化剖面来提供辐射，该径向加热剖面包括第一径向区(I)和第二径向区(II)，并且其中在第一径向区(I)中的热通量(FI)高于在第二径向区中的热通量(FII)。

公开(公告)号：CN107881490B9

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN201710919181.1

申请日：2017-09-30

Applicant: 泰姆普雷斯艾普公司

Inventor： 马尔科姆·约翰·哈里斯 ,  彼得·罗埃尔弗·维尼玛 ,  马滕·罗纳德·雷内斯 ,  约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯

IPC: C23C16/48 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52 ,  H01L31/18

Abstract: 本申请公开了化学气相沉积装置及其用途。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装置包括配置用于具有基板的晶圆舟(10)的管状室(100)。PECVD装置还包括布置在室外侧并被配置用于借助于辐射来发射热的加热工具(110)、以及用于控制室(100)内部的包括温度和组成的状态的控制器。在这里，加热工具(110)配置用于根据在室内的径向变化剖面来提供辐射，该径向加热剖面包括第一径向区(I)和第二径向区(II)，并且其中在第一径向区(I)中的热通量(FI)高于在第二径向区中的热通量(FII)。

公开(公告)号：CN107881490B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201710919181.1

申请日：2017-09-30

Applicant: 泰姆普雷斯艾普公司

Inventor： 马尔科姆·约翰·哈里斯 ,  彼得·罗埃尔弗·维尼玛 ,  马滕·罗纳德·雷内斯 ,  约翰尼斯·莱茵德·马克·卢奇斯

IPC: C23C16/48 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52 ,  H01L31/18

Abstract: 本申请公开了化学气相沉积装置及其用途。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装置包括配置用于具有基板的晶圆舟(10)的管状室(100)。PECVD装置还包括布置在室外侧并被配置用于借助于辐射来发射热的加热工具(110)、以及用于控制室(100)内部的包括温度和组成的状态的控制器。在这里，加热工具(110)配置用于根据在室内的径向变化剖面来提供辐射，该径向加热剖面包括第一径向区(I)和第二径向区(II)，并且其中在第一径向区(I)中的热通量(FI)高于在第二径向区中的热通量(FII)。