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公开(公告)号：CN118561230A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410348533.2
申请日：2024-03-26
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明属于光电技术领域，特指一种体结构MEMS红外光源及其制造方法。该光源从下至上依次为衬底和隔热层、介质层、发热电极层、红外发射层；以及与发热电极层电连接并位于红外发射层两侧的两条发热电极焊盘。隔热层从衬底的上表面向下镶嵌在衬底的中间区域，隔热层的上表面与衬底的上表面处于同一平面，红外发射层相对于隔热层两边各缩小一定的距离。本发明通过低热导率隔热层的引入，不仅能达到现有“悬膜”结构MEMS红外光源一样的热传导控制功能，同时使发热电极层、红外发射层等功能层和衬底融为一体，形成了体结构，大大提升了MEMS红外光源在制造和使用过程中的热稳定性和结构强度，从根源上避免了“悬膜”破裂的隐患。
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公开(公告)号：CN115991610B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202211404908.X
申请日：2022-11-10
Applicant: 江苏大学
IPC: C04B38/00 , C04B35/10 , C04B35/50 , C04B35/622 , G01J1/04
Abstract: 本发明涉及一种基于氧化铝/锰酸镧膜基结构的光吸收体及其制备方法。制备方法的步骤包括:(1)固相法合成宽光谱高吸收的锰酸镧基陶瓷粉体；(2)制备孔隙梯度五层结构锰酸镧基片；(3)镀制致密Al2O3膜；(4)在空气炉中热处理。其中锰酸镧基片表层致密、从外到内孔隙梯度分布，膜基结构界面存在过渡层。该制备方法工艺简便、成本低，利用该方法制备的光吸收体在0.2～20μm波段范围内具有高的吸收率，且耐高温、抗热震，有高的激光损伤阈值，可广泛应用于激光能量计、激光功率计等高温光热转换领域的元器件。
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公开(公告)号：CN115991610A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202211404908.X
申请日：2022-11-10
Applicant: 江苏大学
IPC: C04B38/00 , C04B35/10 , C04B35/50 , C04B35/622 , G01J1/04
Abstract: 本发明涉及一种基于氧化铝/锰酸镧膜基结构的光吸收体及其制备方法。制备方法的步骤包括:(1)固相法合成宽光谱高吸收的锰酸镧基陶瓷粉体；(2)制备孔隙梯度五层结构锰酸镧基片；(3)镀制致密Al2O3膜；(4)在空气炉中热处理。其中锰酸镧基片表层致密、从外到内孔隙梯度分布，膜基结构界面存在过渡层。该制备方法工艺简便、成本低，利用该方法制备的光吸收体在0.2～20μm波段范围内具有高的吸收率，且耐高温、抗热震，有高的激光损伤阈值，可广泛应用于激光能量计、激光功率计等高温光热转换领域的元器件。
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公开(公告)号：CN115144444A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210840052.4
申请日：2022-07-18
Applicant: 江苏大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及NO2气体检测技术领域，特指一种用于室温检测ppb级NO2的气敏材料及制备方法。制备方法包括:(1)多层Ti3C2 MXene的合成；(2)ZnO/Ti3C2的合成；(3)ZnO1‑x/Ti3C2合成；(4)气敏元件的制作。该制备方法工艺简便、成本低，利用该方法制备的ZnO1‑x/Ti3C2复合材料中ZnO具有丰富的氧空位，且复合材料具有肖特基异质结构，在室温下对0.01、1和10ppm NO2的响应(ΔR/Ra)分别为0.03、0.21和2.28。此外，ZnO1‑x/Ti3C2复合材料可以在不同的湿度下有效地检测低浓度的NO2，且该复合材料还具有良好的重复性和长期稳定性。
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公开(公告)号：CN112517352A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011091750.6
申请日：2020-10-13
Applicant: 江苏大学
IPC: B05D5/02 , B05D3/02 , C09D5/32 , C09D133/04
Abstract: 本发明涉及宽光谱吸收涂层，特指一种纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层及制备方法。本发明将微米碳颗粒(CMP)、纳米碳颗粒(CNP)、Si3N4和TiN纳米颗粒依次添加到树脂溶剂中，然后通过高压静电喷涂制备为超宽光谱吸收涂层。在高压静电喷涂过程中，大量带电的CMP相互排斥，形成多孔骨架，CNP、Si3N4和TiN纳米颗粒负载在CMP表面，形成纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层。得益于CMP，CNP，Si3N4和TiN的协同作用，本发明公开的纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层不仅可以形成操控入射光波的引导多孔模式；同时负载的纳米粒子可提供多次反射和散射，使光传播路径增加，从而导致涂层的吸收增强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109516781A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811439840.2
申请日：2018-11-29
Applicant: 江苏大学
IPC: C04B35/01 , C04B35/622 , C04B41/88 , C04B35/626 , H01C7/04
Abstract: 本发明涉及负温度系数热敏电阻制备技术领域，特指一种四元系负温度系数热敏电阻材料及其制备方法。以硫酸锰、硫酸镍、硫酸铜和硫酸钴作为初始原料，草酸作为沉淀剂，通过控制沉淀反应中的PH值、离子浓度、温度以及搅拌时间等，避免沉淀颗粒出现团聚现象，通过去离子水和无水乙醇的过滤洗涤去除有机杂质，获得分散均匀的纳米颗粒。将预烧颗粒造粒后压力成型、等静压，置于烧结炉中烧结制成负温度系数热敏电阻材料。本发明制备工艺简单、可重复性高，一致性好、耗能低等特点；制备的陶瓷热敏电阻具有低电阻高B值性能特点，且稳定性高、互换性好、灵敏度高等特点，适用于冰箱等设备的温度测量、控制和线路补偿等。
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公开(公告)号：CN105974505B
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201610588840.3
申请日：2016-07-25
Applicant: 江苏大学
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明涉及红外滤光片，具体涉及一种温度探测用长波通红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si，折射率n＝3.42881；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用ZnS，折射率n＝2.2。在基板两个表面上分别沉积不同中心波长的膜系。本发明提供的5500～14000nm长波通红外滤光片，半高点波长定位5500±1％nm，截止区透过率小于0.2％，透射区的透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他的干扰，提高仪器温度探测的精度和效率。
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公开(公告)号：CN105842770B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201610325524.7
申请日：2016-05-17
Applicant: 江苏大学
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了一种CO2气体检测用红外滤光片及其制备方法，红外滤光片基底材料选用单晶Si，高折射率材料选用Ge，低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜，其镀膜工艺条件为：其中Ge选用电子束蒸镀，沉积速率为SiO选用多孔钼舟电热蒸镀，沉积速率为开始蒸镀真空度为1.0×10‑3Pa，沉积温度为200℃。得到的4260nm带通红外滤光片，峰值透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效能。
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公开(公告)号：CN118387827A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410491744.1
申请日：2024-04-23
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明公开一种新型MEMS微加热芯片及其制备方法。所述的新型MEMS微加热芯片包括：支撑层、加热层、绝缘层与功能层；所述的支撑层为沉积于承载衬底表面；所述的加热层沉积于所述支撑层表面，是一种柠檬形加热结构；所述的绝缘层沉积于所述加热层表面；所述的承载衬底刻蚀形成空腔结构，所述的支撑层、加热层与绝缘层悬浮在承载衬底空腔上形成悬臂梁结构，并设计有应力释放孔；所述的功能层为叉指电极层或红外辐射层，沉积于所述绝缘层表面。不同于传统MEMS微加热芯片，本发明公开的一种新型MEMS微加热芯片，稳定性高、温度场均匀，适用于便携式、微型化的气敏检测系统。
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公开(公告)号：CN118215382A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410348532.8
申请日：2024-03-26
Applicant: 江苏大学
IPC: H10N15/10
Abstract: 本发明属于半导体器件制备领域，特别是涉及一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法。该探测器，从下至上依次包括支撑基板、隔热层、第一键合层、第二键合层、第一电极层、钽酸锂晶片、第二电极层、红外吸收层，支撑基板和隔热层共同构成复合支撑结构，实现了对钽酸锂晶片的整体支撑，没有悬空区域，从根源上避免了现有钽酸锂热释电红外探测器中钽酸锂晶片局部悬空的问题，改善了钽酸锂热释电红外探测器抵抗外界机械振动的能力，极大的降低了钽酸锂热释电红外探测器的麦克风效应，同时隔热层热导率小于等于0.05W/(m·K)能够确保隔热性能，使钽酸锂热释电红外探测器保持高的探测率。
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