Patent search ap:("江苏大学") AND inv:"蒋建立" Page 1

1.

发明公开
一种新型MEMS微加热芯片及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118387827A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410491744.1

申请日：2024-04-23

Applicant: 江苏大学

Inventor： 乔冠军 , 孙晓昀 , 侯海港 , 蒋建立 , 刘桂武 , 刘军林

IPC: B81B7/02 , B81B7/00 , B81C1/00

Abstract: 本发明公开一种新型MEMS微加热芯片及其制备方法。所述的新型MEMS微加热芯片包括：支撑层、加热层、绝缘层与功能层；所述的支撑层为沉积于承载衬底表面；所述的加热层沉积于所述支撑层表面，是一种柠檬形加热结构；所述的绝缘层沉积于所述加热层表面；所述的承载衬底刻蚀形成空腔结构，所述的支撑层、加热层与绝缘层悬浮在承载衬底空腔上形成悬臂梁结构，并设计有应力释放孔；所述的功能层为叉指电极层或红外辐射层，沉积于所述绝缘层表面。不同于传统MEMS微加热芯片，本发明公开的一种新型MEMS微加热芯片，稳定性高、温度场均匀，适用于便携式、微型化的气敏检测系统。

Patent Agency Ranking