用于制造光电子半导体芯片的方法和光电子半导体芯片

    公开(公告)号:CN114521295A

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202080069301.3

    申请日:2020-09-25

    Abstract: 在一个实施方式中,方法用于制造光电子半导体芯片(1)并且包括:A)在生长衬底(2)上沿着生长方向(G)生长AlInGaAsP半导体层序列(3),其中半导体层序列(3)包括用于产生辐射的有源区(33),并且有源区(33)由多个、彼此交替的量子阱层(61)和势垒层(62)组成;B)产生结构化的掩模层(5、34);C)在至少一个混匀区域(51)中借助于将混匀辅助材料(55)穿过掩模层(5、34)的开口(50)施加到有源区(33)中来局部地混匀量子阱层(61)和势垒层(62);并且D)将半导体层序列(3)分割成用于半导体芯片(1)的子区域(39),其中势垒层(62)在步骤A)中由[(AlxGa1‑x)yIn1‑y]zP1‑z生长,其中x≥0.5。

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