基于锯齿型铜布线的芯片级三维柔性封装结构

    公开(公告)号:CN102543925A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110458698.8

    申请日:2011-12-31

    CPC classification number: H01L2224/10

    Abstract: 本发明公开了一种基于锯齿型铜布线的芯片级三维柔性封装结构,包括设有钝化层的硅芯片、铜接线柱、再分布铜布线、凸点下金属层和焊料凸点,硅芯片焊盘区域与铜接线柱连接,凸点下金属层设置在再分布铜布线上并通过再分布铜布线与铜接线柱相连接,焊料凸点设置在凸点下金属层上,其特征是:钝化层上设有柔性层,再分布铜布线设置在柔性层的表面上,再分布铜布线与凸点下金属层连接的一端设置为具有微弹簧效果的锯齿形状,凸点下金属层旁边的柔性层上设有通孔,焊料凸点正下方的钝化层中设有空气隙。本发明采用空气隙和锯齿形再分布铜布线使得封装结构具有三维柔性,实现芯片和基板间的三维柔性连接,解决热循环中热不匹配引起的热应力导致的可靠性问题。

    基于卷曲型铜布线的芯片级三维柔性封装结构

    公开(公告)号:CN102569231A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110458784.9

    申请日:2011-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于卷曲型铜布线的芯片级三维柔性封装结构,包括设有钝化层的硅芯片、铜接线柱、再分布铜布线、凸点下金属层和焊料凸点,硅芯片焊盘区域与铜接线柱连接,凸点下金属层设置在再分布铜布线上并通过再分布铜布线与铜接线柱相连接,焊料凸点设置在凸点下金属层上,其特征是:钝化层上设有柔性层,再分布铜布线设置在柔性层的表面上,再分布铜布线与凸点下金属层连接的一端设置为具有微弹簧效果的卷曲形状,凸点下金属层旁边的柔性层上设有通孔,焊料凸点正下方的钝化层中设有空气隙。本发明采用空气隙和卷曲形再分布铜布线使得封装结构具有三维柔性,实现芯片和基板间的三维柔性连接,解决热循环中热不匹配引起的热应力导致的可靠性问题。

    基于S型铜布线的芯片级三维柔性封装结构

    公开(公告)号:CN102543924A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110458669.1

    申请日:2011-12-31

    CPC classification number: H01L2224/10

    Abstract: 本发明公开了一种基于S型铜布线的芯片级三维柔性封装结构,包括设有钝化层的硅芯片、铜接线柱、再分布铜布线、凸点下金属层和焊料凸点,硅芯片焊盘区域与铜接线柱连接,凸点下金属层设置在再分布铜布线上并通过再分布铜布线与铜接线柱相连接,焊料凸点设置在凸点下金属层上,其特征是:钝化层上设有柔性层,再分布铜布线设置在柔性层的表面上,再分布铜布线与凸点下金属层连接的一端设置为具有微弹簧效果的S形状,凸点下金属层旁边的柔性层上设有通孔,焊料凸点正下方的钝化层中设有空气隙。本发明采用空气隙和S形再分布铜布线使得封装结构具有三维柔性,实现芯片和基板间的三维柔性连接,解决热循环中热不匹配引起的热应力导致的可靠性问题。

    基于卷曲型铜布线的芯片级三维柔性封装结构

    公开(公告)号:CN202423262U

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201120572657.7

    申请日:2011-12-31

    CPC classification number: H01L2224/10

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于卷曲型铜布线的芯片级三维柔性封装结构,包括设有钝化层的硅芯片、铜接线柱、再分布铜布线、凸点下金属层和焊料凸点,硅芯片焊盘区域与铜接线柱连接,凸点下金属层设置在再分布铜布线上并通过再分布铜布线与铜接线柱相连接,焊料凸点设置在凸点下金属层上,其特征是:钝化层上设有柔性层,再分布铜布线设置在柔性层的表面上,再分布铜布线与凸点下金属层连接的一端设置为具有微弹簧效果的卷曲形状,凸点下金属层旁边的柔性层上设有通孔,焊料凸点正下方的钝化层中设有空气隙。本实用新型采用空气隙和卷曲形再分布铜布线使得封装结构具有三维柔性,实现芯片和基板间的三维柔性连接,解决热循环中热不匹配引起的热应力导致的可靠性问题。

    基于锯齿型铜布线的芯片级三维柔性封装结构

    公开(公告)号:CN202423261U

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201120572586.0

    申请日:2011-12-31

    CPC classification number: H01L2224/10

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于锯齿型铜布线的芯片级三维柔性封装结构,包括设有钝化层的硅芯片、铜接线柱、再分布铜布线、凸点下金属层和焊料凸点,硅芯片焊盘区域与铜接线柱连接,凸点下金属层设置在再分布铜布线上并通过再分布铜布线与铜接线柱相连接,焊料凸点设置在凸点下金属层上,其特征是:钝化层上设有柔性层,再分布铜布线设置在柔性层的表面上,再分布铜布线与凸点下金属层连接的一端设置为具有微弹簧效果的锯齿形状,凸点下金属层旁边的柔性层上设有通孔,焊料凸点正下方的钝化层中设有空气隙。本实用新型采用空气隙和锯齿形再分布铜布线使得封装结构具有三维柔性,实现芯片和基板间的三维柔性连接,解决热循环中热不匹配引起的热应力导致的可靠性问题。

    基于S型铜布线的芯片级三维柔性封装结构

    公开(公告)号:CN202423260U

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201120572436.X

    申请日:2011-12-31

    CPC classification number: H01L2224/10

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于S型铜布线的芯片级三维柔性封装结构,包括设有钝化层的硅芯片、铜接线柱、再分布铜布线、凸点下金属层和焊料凸点,硅芯片焊盘区域与铜接线柱连接,凸点下金属层设置在再分布铜布线上并通过再分布铜布线与铜接线柱相连接,焊料凸点设置在凸点下金属层上,其特征是:钝化层上设有柔性层,再分布铜布线设置在柔性层的表面上,再分布铜布线与凸点下金属层连接的一端设置为具有微弹簧效果的S形状,凸点下金属层旁边的柔性层上设有通孔,焊料凸点正下方的钝化层中设有空气隙。本实用新型采用空气隙和S形再分布铜布线使得封装结构具有三维柔性,实现芯片和基板间的三维柔性连接,解决热循环中热不匹配引起的热应力导致的可靠性问题。

Patent Agency Ranking