公开(公告)号：CN105225992A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201510737109.8

申请日：2015-11-03

Applicant: 株洲南车时代电气股份有限公司

Inventor： 王东东 ,  王政英 ,  邹冰艳 ,  刘芹 ,  唐革 ,  郭润庆 ,  刘锐鸣 ,  高军 ,  刘应 ,  姚震洋

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本申请公开了一种刻蚀装置及晶圆片单面刻蚀方法，其中，所述刻蚀装置的底座上用于放置多个所述夹片环，相邻夹片环之间用于放置至少两个晶圆片，所述晶圆片的待刻蚀面朝向与其相邻的所述夹片环，当利用所述夹紧装置夹紧放置在所述底座上的多个夹片环和多个晶圆片后可以通过所述夹片环的进液槽注入腐蚀液体对所述晶圆片进行刻蚀。由于至少两个所述晶圆片紧贴，且仅有所述晶圆片的待刻蚀面朝向与其相邻的所述夹片环，因此在所述腐蚀液体通过所述夹片环的进液槽注入后，所述腐蚀液体仅能够接触到所述晶圆片的待刻蚀面，从而达到了对所述晶圆片单面刻蚀的目的。

公开(公告)号：CN105225992B

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201510737109.8

申请日：2015-11-03

Applicant: 株洲南车时代电气股份有限公司

Inventor： 王东东 ,  王政英 ,  邹冰艳 ,  刘芹 ,  唐革 ,  郭润庆 ,  刘锐鸣 ,  高军 ,  刘应 ,  姚震洋

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本申请公开了一种刻蚀装置及晶圆片单面刻蚀方法，其中，所述刻蚀装置的底座上用于放置多个所述夹片环，相邻夹片环之间用于放置至少两个晶圆片，所述晶圆片的待刻蚀面朝向与其相邻的所述夹片环，当利用所述夹紧装置夹紧放置在所述底座上的多个夹片环和多个晶圆片后可以通过所述夹片环的进液槽注入腐蚀液体对所述晶圆片进行刻蚀。由于至少两个所述晶圆片紧贴，且仅有所述晶圆片的待刻蚀面朝向与其相邻的所述夹片环，因此在所述腐蚀液体通过所述夹片环的进液槽注入后，所述腐蚀液体仅能够接触到所述晶圆片的待刻蚀面，从而达到了对所述晶圆片单面刻蚀的目的。