公开(公告)号：CN108350561B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201680063845.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  木村江梨子 ,  小林郁典

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/18 ,  B23K26/38 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明进行如下工序：在能进行激光加工的树脂制的膜(4)的表里任意一面形成树脂制的支撑层(2)的工序，其中，该支撑层(2)包括与上述膜(4)不同的树脂材料，吸收波长比可见光短的激光(L1)；从与上述膜(4)的形成有上述支撑层(2)的面相反的一侧照射激光(L1)，形成贯通该膜(4)的开口图案(3)的工序；以及针对上述膜(4)选择除去上述支撑层(2)的工序。由此，能通过简单的工艺抑制在开口图案的缘部产生毛刺。

公开(公告)号：CN103797149B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201280044893.9

申请日：2012-09-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 杉本重人 ,  梶山康一 ,  水村通伸 ,  工藤修二 ,  木村江梨子 ,  哈尼·马赫·阿齐兹 ,  梶山佳敬

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B05B12/20 ,  B23K26/342 ,  B23K26/359 ,  B23K26/382 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/48 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/5012 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明是用于在基板上蒸镀形成一定形状的薄膜图案的蒸镀掩膜，该蒸镀掩膜构成为具备透射可见光的树脂制的膜，该树脂制的膜对应于预先在所述基板上确定的所述薄膜图案的形成区域，形成了与该薄膜图案的形状尺寸相同的贯通的开口图案。

公开(公告)号：CN108350561A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063845.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  木村江梨子 ,  小林郁典

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/18 ,  B23K26/38 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明进行如下工序：在能进行激光加工的树脂制的膜(4)的表里任意一面形成树脂制的支撑层(2)的工序，其中，该支撑层(2)包括与上述膜(4)不同的树脂材料，吸收波长比可见光短的激光(L1)；从与上述膜(4)的形成有上述支撑层(2)的面相反的一侧照射激光(L1)，形成贯通该膜(4)的开口图案(3)的工序；以及针对上述膜(4)选择除去上述支撑层(2)的工序。由此，能通过简单的工艺抑制在开口图案的缘部产生毛刺。

公开(公告)号：CN103797149A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201280044893.9

申请日：2012-09-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 杉本重人 ,  梶山康一 ,  水村通伸 ,  工藤修二 ,  木村江梨子 ,  哈尼·马赫·阿齐兹 ,  梶山佳敬

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B05B12/20 ,  B23K26/342 ,  B23K26/359 ,  B23K26/382 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/48 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/5012 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明是用于在基板上蒸镀形成一定形状的薄膜图案的蒸镀掩膜，该蒸镀掩膜构成为具备透射可见光的树脂制的膜，该树脂制的膜对应于预先在所述基板上确定的所述薄膜图案的形成区域，形成了与该薄膜图案的形状尺寸相同的贯通的开口图案。