公开(公告)号：CN108350561A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063845.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  木村江梨子 ,  小林郁典

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/18 ,  B23K26/38 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明进行如下工序：在能进行激光加工的树脂制的膜(4)的表里任意一面形成树脂制的支撑层(2)的工序，其中，该支撑层(2)包括与上述膜(4)不同的树脂材料，吸收波长比可见光短的激光(L1)；从与上述膜(4)的形成有上述支撑层(2)的面相反的一侧照射激光(L1)，形成贯通该膜(4)的开口图案(3)的工序；以及针对上述膜(4)选择除去上述支撑层(2)的工序。由此，能通过简单的工艺抑制在开口图案的缘部产生毛刺。

公开(公告)号：CN108350561B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201680063845.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  木村江梨子 ,  小林郁典

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/18 ,  B23K26/38 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明进行如下工序：在能进行激光加工的树脂制的膜(4)的表里任意一面形成树脂制的支撑层(2)的工序，其中，该支撑层(2)包括与上述膜(4)不同的树脂材料，吸收波长比可见光短的激光(L1)；从与上述膜(4)的形成有上述支撑层(2)的面相反的一侧照射激光(L1)，形成贯通该膜(4)的开口图案(3)的工序；以及针对上述膜(4)选择除去上述支撑层(2)的工序。由此，能通过简单的工艺抑制在开口图案的缘部产生毛刺。