公开(公告)号：CN110612579A

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201880030994.8

申请日：2018-04-27

Applicant: 株式会社FLOSFIA

Inventor： 柳生慎悟 ,  佐佐木贵博 ,  人罗俊实

IPC: H01C7/04 ,  C01G53/00 ,  H01C17/20 ,  G01K7/22

Abstract: 本发明提供一种热敏电阻特性优异且机械强度也强的热敏电阻膜及其成膜方法。通过在规定的成膜条件下使热敏电阻膜的原料溶液雾化或液滴化，对得到的雾滴或液滴供给载气，将所述雾滴或液滴运送至基体之后，使所述雾滴或液滴在所述基体上热反应而进行成膜，分别得到热敏电阻特性优异的外延膜、膜厚为1μm以下的热敏电阻膜、膜厚为50nm以上且5μm以下并且所述膜厚在膜宽5mm下的分布小于±50nm的范围内的热敏电阻膜、以及膜厚为50nm以上且5μm以下并且膜的表面粗糙度Ra为0.1μm以下的热敏电阻膜。

公开(公告)号：CN109628910B

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN201811147185.3

申请日：2018-09-29

Applicant: 株式会社FLOSFIA

Inventor： 柳生慎悟 ,  佐佐木貴博 ,  渡边宜郎 ,  四户孝

IPC: C23C16/34 ,  C23C16/455

Abstract: 在本发明主题的第一方面中，形成膜的方法包括将至少包括第一化学元素和第二化学元素的原料转化成雾化的液滴；通过使用载气将至少包括第一化学元素和第二化学元素的雾化的液滴携带在物体上；和使雾化的液滴反应而在物体上形成至少包括第一化学元素和第二化学元素的膜。第一化学元素选自周期表的14族元素和15族元素。第二化学元素选自周期表的d区元素、13族元素和14族元素并且与第一化学元素不同。

公开(公告)号：CN108690969B

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN201810293622.6

申请日：2018-03-30

Applicant: 株式会社FLOSFIA

Inventor： 柳生慎悟 ,  井川拓人 ,  人罗俊实

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明提供一种成膜方法、导电性层压结构体及电子装置。本发明的成膜方法简单且容易地、在工业上有利地对基材密合性良好地形成导电性金属氧化膜。在通过将对含有金属的原料溶液进行雾化或液滴化而生成的雾或液滴利用载气运送到基体，接着在该基体上使该雾或液滴进行热反应，从而在该基体上形成导电性金属氧化膜的成膜方法中，使用表面的一部分或全部含有铜或铜合金、铝或铝合金、镁或镁合金、或者不锈钢作为主要成分的基体作为所述基体来进行成膜。