公开(公告)号：CN113891859A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202080039782.3

申请日：2020-03-30

Applicant: 株式会社FLOSFIA

Inventor： 松田时宜 ,  佐佐木贵博 ,  人罗俊实 ,  高桥勲

IPC: C01G45/00 ,  H01C7/04 ,  C23C16/40

Abstract: 作为实施方式之一，本发明涉及一种晶体，包含金属氧化物，所述金属氧化物包含Ga和Mn并具有刚玉结构。

公开(公告)号：CN110612579A

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201880030994.8

申请日：2018-04-27

Applicant: 株式会社FLOSFIA

Inventor： 柳生慎悟 ,  佐佐木贵博 ,  人罗俊实

IPC: H01C7/04 ,  C01G53/00 ,  H01C17/20 ,  G01K7/22

Abstract: 本发明提供一种热敏电阻特性优异且机械强度也强的热敏电阻膜及其成膜方法。通过在规定的成膜条件下使热敏电阻膜的原料溶液雾化或液滴化，对得到的雾滴或液滴供给载气，将所述雾滴或液滴运送至基体之后，使所述雾滴或液滴在所述基体上热反应而进行成膜，分别得到热敏电阻特性优异的外延膜、膜厚为1μm以下的热敏电阻膜、膜厚为50nm以上且5μm以下并且所述膜厚在膜宽5mm下的分布小于±50nm的范围内的热敏电阻膜、以及膜厚为50nm以上且5μm以下并且膜的表面粗糙度Ra为0.1μm以下的热敏电阻膜。