公开(公告)号：CN118803522A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410426406.X

申请日：2024-04-10

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社 ,  日清纺微电子株式会社

Inventor： 樱井悠也 ,  山田英雄 ,  桝本尚己 ,  高桥宏 ,  挂札尚 ,  臼井孝英

IPC: H04R17/02

Abstract: 压电元件具备基板(10)、层叠于基板的下部电极(12)、层叠于下部电极的压电膜(13，15)、以及层叠于压电膜的上部电极(16)。通过在基板中的与下部电极相反侧的面上形成的凹部(17)、和将下部电极、压电膜、上部电极贯通的贯通孔(19)，形成由下部电极、压电膜、上部电极构成且被悬臂支承于基板的多个薄膜部(181，182，183，184)，多个薄膜部中的至少2个薄膜部的共振频率相互不同。

公开(公告)号：CN117041841A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202310493785.X

申请日：2023-05-05

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社 ,  日清纺微电子株式会社

Inventor： 情家智也 ,  榎本哲也 ,  山田英雄 ,  片上崇治 ,  挂札尚 ,  臼井孝英

IPC: H04R17/02

Abstract: 电声变换器(1)具有振动部(34)、狭缝(35)和伸缩膜(4)。振动部具有固定端部(341)和自由端部(342)，从固定端部朝向自由端部沿着与指向轴(CA)正交的延伸设置方向以悬臂梁状延伸设置，由此被设置为能够以自由端部沿着指向轴移动的方式振动。狭缝形成在与指向轴正交且与延伸设置方向正交的宽度方向上的振动部的两端。伸缩膜以在沿着指向轴的轴向上将狭缝封堵的方式设置。狭缝具有设在自由端部侧的宽幅部(351)和形成得比宽幅部宽度窄的窄幅部(352)。伸缩膜以不将窄幅部封堵但将宽幅部封堵的方式设置。

公开(公告)号：CN117222301A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202310646405.1

申请日：2023-06-02

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社

Inventor： 勅使河原明彦 ,  山田英雄 ,  阿部竜一郎 ,  木岛健治 ,  榎本哲也

IPC: H10N30/50 ,  H10N30/853 ,  H10N30/00 ,  H10N30/05

Abstract: 本发明提供一种压电膜层叠体，其具备SiN膜(14)和ScAlN膜(15)。SiN膜(14)具有衬底表面(14a)。ScAlN膜(15)与衬底表面(14a)相接地配置。衬底表面(14a)的表面粗糙度按算术平均粗糙度的值计为0.5nm以下。

公开(公告)号：CN115917032A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202180051424.9

申请日：2021-08-24

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 榎本哲也 ,  勅使河原明彦 ,  山田英雄 ,  川合祐辅

IPC: C23C14/02

Abstract: 本发明提供一种MEMS传感器，具备形成了隔膜部(11)的基板(10)、和配置在隔膜部(11)上的压电膜(20)。压电膜(20)由氮化钪铝构成，碳浓度为2.5at％以下，同时氧浓度为0.35at％以下。

公开(公告)号：CN112088483A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201980030650.1

申请日：2019-06-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 原田翔太 ,  伊藤启太郎 ,  城森知也 ,  山田英雄 ,  稻垣优辉 ,  明石照久 ,  畑良幸

IPC: H02N11/00 ,  B06B1/04 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5747 ,  H01L29/84

Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。

公开(公告)号：CN112088483B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN201980030650.1

申请日：2019-06-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 原田翔太 ,  伊藤启太郎 ,  城森知也 ,  山田英雄 ,  稻垣优辉 ,  明石照久 ,  畑良幸

IPC: H02N11/00 ,  B06B1/04 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5747 ,  H01L29/84

Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。

公开(公告)号：CN114207854A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080055479.2

申请日：2020-07-28

Applicant: 日清纺微电子有限公司 ,  株式会社电装

Inventor： 口地博行 ,  桝本尚己 ,  山田英雄 ,  敕使河原明彦 ,  水谷厚司

IPC: H01L41/053 ,  H01L41/08 ,  H01L41/113

Abstract: 压电元件(10)具备：压电元件部(12)，具有压电膜(14)和在厚度方向(Z)上夹持压电膜(14)的电极(16)；支承部(18)，支承压电元件部(12)的周缘部(E1)；以及伸缩膜(22)。伸缩膜(22)设置于压电元件部(12)的周缘部(E1)的内侧的振动区域(E2)。此外，伸缩膜(22)的伸缩性比压电元件部(12)的伸缩性高。