气体传感器
    3.
    发明公开
    气体传感器 审中-实审

    公开(公告)号:CN119213301A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202380041127.5

    申请日:2023-05-02

    Abstract: 本发明提供的气体传感器,包括:基板(1);设置于基板1的开口部(6);覆盖开口部(6)的薄膜(3);搭载于薄膜(3)的开口部(6)上的检测气体的传感器部(4);搭载于薄膜(3)的开口部(6)上的加热传感器部(4)的加热器(4d);以及配置于传感器部(4)和加热器(4d)的外周的薄膜(3)的至少一个狭缝(5)。

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