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发明公开
气体传感器审中-实审

公开(公告)号：CN119213301A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380041127.5

申请日：2023-05-02

Applicant: 日清纺微电子株式会社

Inventor： 臼井孝英 , 久保田瑶 , 菊池直树 , 藤井伸彦 , 小野悟

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明提供的气体传感器，包括：基板(1)；设置于基板1的开口部(6)；覆盖开口部(6)的薄膜(3)；搭载于薄膜(3)的开口部(6)上的检测气体的传感器部(4)；搭载于薄膜(3)的开口部(6)上的加热传感器部(4)的加热器(4d)；以及配置于传感器部(4)和加热器(4d)的外周的薄膜(3)的至少一个狭缝(5)。

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