公开(公告)号：CN114843392A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202210078029.6

申请日：2022-01-24

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社

Inventor： 勅使河原明彦 ,  榎本哲也

IPC: H01L41/39 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187

Abstract: 一种压电膜层叠结构，包括基材(11、25、27、32、34、41、54)和形成在基材上的ScAlN膜。ScAlN薄膜具有的未成对电子密度在1.7×1018个电子/cm3(含)和1.1×1019个电子/cm3(含)之间的范围内。

公开(公告)号：CN117041841A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202310493785.X

申请日：2023-05-05

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社 ,  日清纺微电子株式会社

Inventor： 情家智也 ,  榎本哲也 ,  山田英雄 ,  片上崇治 ,  挂札尚 ,  臼井孝英

IPC: H04R17/02

Abstract: 电声变换器(1)具有振动部(34)、狭缝(35)和伸缩膜(4)。振动部具有固定端部(341)和自由端部(342)，从固定端部朝向自由端部沿着与指向轴(CA)正交的延伸设置方向以悬臂梁状延伸设置，由此被设置为能够以自由端部沿着指向轴移动的方式振动。狭缝形成在与指向轴正交且与延伸设置方向正交的宽度方向上的振动部的两端。伸缩膜以在沿着指向轴的轴向上将狭缝封堵的方式设置。狭缝具有设在自由端部侧的宽幅部(351)和形成得比宽幅部宽度窄的窄幅部(352)。伸缩膜以不将窄幅部封堵但将宽幅部封堵的方式设置。

公开(公告)号：CN117222301A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202310646405.1

申请日：2023-06-02

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社

Inventor： 勅使河原明彦 ,  山田英雄 ,  阿部竜一郎 ,  木岛健治 ,  榎本哲也

IPC: H10N30/50 ,  H10N30/853 ,  H10N30/00 ,  H10N30/05

Abstract: 本发明提供一种压电膜层叠体，其具备SiN膜(14)和ScAlN膜(15)。SiN膜(14)具有衬底表面(14a)。ScAlN膜(15)与衬底表面(14a)相接地配置。衬底表面(14a)的表面粗糙度按算术平均粗糙度的值计为0.5nm以下。

公开(公告)号：CN115917032A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202180051424.9

申请日：2021-08-24

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 榎本哲也 ,  勅使河原明彦 ,  山田英雄 ,  川合祐辅

IPC: C23C14/02

Abstract: 本发明提供一种MEMS传感器，具备形成了隔膜部(11)的基板(10)、和配置在隔膜部(11)上的压电膜(20)。压电膜(20)由氮化钪铝构成，碳浓度为2.5at％以下，同时氧浓度为0.35at％以下。