公开(公告)号：CN114509452A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202111230312.8

申请日：2021-10-21

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 表和彦 ,  广濑雷太 ,  加藤秀一 ,  尤里·普拉托洛瓦

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/046

Abstract: 本发明提供一种成像型X射线显微镜，即使是高能量的X射线也能够增大数值孔径，即使在实验室内也能够以足够的强度得到放大像。具备：包含微焦点且高输出的X射线源(120)和将辐射的X射线向样品聚光照射的聚光镜(130)的X射线照射部；保持样品的样品保持部；将透过了样品的X射线成像的反射镜型X射线镜头部(150)；以及取得所成像的X射线像的摄像部(190)，构成聚光镜(130)以及反射镜型X射线镜头部(150)的各镜具有形成有对特定波长的X射线具有高的反射率的多层膜的反射面。

公开(公告)号：CN119096138A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380035692.0

申请日：2023-02-21

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 表和彦 ,  广濑雷太 ,  加藤秀一 ,  尤里·普拉托洛瓦

IPC: G01N23/18 ,  G01N23/04 ,  G01N23/083 ,  G21K1/00 ,  G21K1/06 ,  G21K7/00

Abstract: 提供一种半导体检查装置、半导体检查系统以及半导体检查方法，通过以能够收纳到实验室内的大小且以足够的强度得到放大像，能够按每个局部对半导体内部的微细结构进行检查。一种使用了放大的X射线像的半导体检查装置，具备：X射线照射部，其由微焦点且高输出的X射线源(120)和将放射出的X射线朝向半导体的试样进行聚光照射的会聚镜(130)构成；试样保持部，其对试样进行保持；反射镜型X射线透镜部(150)，其对透射过试样的X射线进行成像；以及摄像部(190)，其取得所成像的X射线像，构成会聚镜(130)和反射镜型X射线透镜部(150)的各镜具有形成有对于特定波长的X射线具有高反射率的多层膜的反射面。