提供一种半导体检查装置、半导体检查系统以及半导体检查方法，通过以能够收纳到实验室内的大小且以足够的强度得到放大像，能够按每个局部对半导体内部的微细结构进行检查。一种使用了放大的X射线像的半导体检查装置，具备：X射线照射部，其由微焦点且高输出的X射线源(120)和将放射出的X射线朝向半导体的试样进行聚光照射的会聚镜(130)构成；试样保持部，其对试样进行保持；反射镜型X射线透镜部(150)，其对透射过试样的X射线进行成像；以及摄像部(190)，其取得所成像的X射线像，构成会聚镜(130)和反射镜型X射线透镜部(150)的各镜具有形成有对于特定波长的X射线具有高反射率的多层膜的反射面。