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公开(公告)号：CN105683709B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201480058865.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 托米·皮赖宁
IPC: G01C19/5719
Abstract: 一种微机电传感器设备，包括测震质量块和弹簧结构，该弹簧结构针对测震质量块限定驱动方向和感测方向，感测方向与驱动方向垂直。电容式换能器结构包括：定子，其要被锚定至静态支承结构；以及转子，其以机械方式连接至测震质量块。该电容式换能器结构被布置成倾斜的定向，其中，在驱动方向与定子表面的切线之间形成有非零角度。倾斜的电容式换能器结构产生静电力以减小线性振动的正交误差。
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公开(公告)号：CN105452876B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201480036160.X
申请日：2014-06-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维尔-佩卡·吕特克宁 , 安斯·布卢姆奎斯特
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度传感器，其包括第一传感器(2)，第二传感器(4)和第三传感器(5)。第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第一梁(8)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第二梁(12)。第二传感器(4)被定位在由第一梁(8)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第一空间(17)中。第三传感器(5)被定位在由第二梁(12)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第二空间(18)中。
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公开(公告)号：CN105531564B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201480050417.7
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: B81B7/0058 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪，该微机电陀螺仪包括被悬挂以形成质量块平面的两个震动质量块。震动质量块被激励而绕在质量块平面内的共同主轴旋转振荡。检测到的角运动引起第一震动质量块绕第一检测轴的旋转振荡以及第二震动质量块绕第二检测轴的旋转振荡。检测轴与质量块平面垂直并且间隔了非零距离。
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公开(公告)号：CN105556242A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480050415.8
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B7/02 , G01C19/5755 , G01C19/5776
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪结构，该微机电陀螺仪结构包括震动质量块、本体元件以及使震动质量块悬挂于本体元件的弹簧结构件。在主振荡中，震动质量块的至少一部分在平面外方向上振荡。第一导体被布置成与震动质量块一起移动，并且第二导体附接至本体元件。导体包括沿第一方向和第三方向延伸的相邻的表面。电压元件被布置成在第一表面与第二表面之间产生电势差并且由此在第二方向上引发静电力，该静电力是通过震动质量块的主振荡来调制的。
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公开(公告)号：CN105934651B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201580005959.7
申请日：2015-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/574
Abstract: 一种具有驱动结构和感测结构以及耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构，该特定布置允许较大尺度的驱动结构和感测结构在非常有限的表面区域中的正交定向的运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105556242B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480050415.8
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B7/02 , G01C19/5755 , G01C19/5776
Abstract: 提供了一种微机电陀螺仪结构，该微机电陀螺仪结构包括震动质量块、本体元件以及使震动质量块悬挂于本体元件的弹簧结构件。在主振荡中，震动质量块的至少一部分在平面外方向上振荡。第一导体被布置成与震动质量块一起移动，并且第二导体附接至本体元件。导体包括沿第一方向和第三方向延伸的相邻的表面。电压元件被布置成在第一表面与第二表面之间产生电势差并且由此在第二方向上引发静电力，该静电力是通过震动质量块的主振荡来调制的。
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公开(公告)号：CN108027386A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680054607.5
申请日：2016-09-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , B81C1/00 , B81B3/00 , B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种微机电装置，其包括半挠性敏感质量块，该半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分和将半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个一级部分悬挂的至少一个刚性弹簧。当该装置处于其正常操作范围时，刚性弹簧大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动。该装置还包括构造成使所述至少一个一级部分停止的至少一个第一止动器结构。半挠性敏感质量块构造成在该装置受到以超出该装置的正常操作范围的力碰撞该装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形。在该冲击引起半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的一个方向上的运动的同时，所述至少一个刚性弹簧还构造成产生回复力，该回复力使半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由冲击引起的沿着运动轴线的运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与第一止动器结构脱离。
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公开(公告)号：CN105934651A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005959.7
申请日：2015-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , G01C19/574
Abstract: 一种具有驱动结构和感测结构以及耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构，该特定布置允许较大尺度的驱动结构和感测结构在非常有限的表面区域中的正交定向的运动。
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公开(公告)号：CN105683709A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480058865.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 托米·皮赖宁
IPC: G01C19/5719
Abstract: 一种微机电传感器设备，包括测震质量块和弹簧结构，该弹簧结构针对测震质量块限定驱动方向和感测方向，感测方向与驱动方向垂直。电容式换能器结构包括：定子，其要被锚定至静态支承结构；以及转子，其以机械方式连接至测震质量块。该电容式换能器结构被布置成倾斜的定向，其中，在驱动方向与定子表面的切线之间形成有非零角度。倾斜的电容式换能器结构产生静电力以减小线性振动的正交误差。
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公开(公告)号：CN104395695A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380031839.5
申请日：2013-06-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特
IPC: G01C19/5726 , G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5726 , G01C19/5776 , G01C25/00 , Y10T29/49002 , G01C19/5762
Abstract: 一种传感装置，其包括微机械陀螺仪，所述陀螺仪包括：改进的具有微机械陀螺仪(51)的传感装置，其中，第一机械共振器(52)的共振频率和第二机械共振器(53)的共振频率被调整为基本一致。所述装置包括连接至所述第二机械共振器(53)的反馈回路，所述反馈回路和所述第二机械共振器(53)的组合的品质因数小于10。在基本上不增加传感器装置构造的复杂度的情况下实现了更加精确的感测。
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