公开(公告)号：CN106062566A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580010996.7

申请日：2015-02-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维尔·阿赫泰 ,  维尔-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 一种微机电器件，包括第一结构层和可移动块，该可移动块被悬挂以进行相对于第一结构层的主离面运动。在可移动块中蚀刻有悬臂式运动限制器结构，并且在第一结构层上布置有与悬臂式运动限制器结构相对的第一止挡元件。利用元件间距的优化使用来实现改进的机械鲁棒性。

公开(公告)号：CN105452876A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480036160.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  维尔-佩卡·吕特克宁 ,  安斯·布卢姆奎斯特

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0837

Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度传感器，其包括第一传感器(2)，第二传感器(4)和第三传感器(5)。第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第一梁(8)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第二梁(12)。第二传感器(4)被定位在由第一梁(8)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第一空间(17)中。第三传感器(5)被定位在由第二梁(12)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第二空间(18)中。

公开(公告)号：CN106030315B

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201580010237.0

申请日：2015-02-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维尔-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  G01P15/08

Abstract: 较不易受内部或外部电气干扰的鲁棒的微机电结构。该结构包括：运动元件，其具有被悬挂到支撑件的转子；第一框，其被锚定到支撑件，并且围绕运动元件；以及第二框，其被锚定到支撑件，并且在运动元件与第一框之间围绕运动元件，将第二框与第一框进行电隔离。将转子和第二框进行电耦接，以具有相同电位。

公开(公告)号：CN107667067B

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201680027941.1

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安蒂·伊霍拉 ,  阿尔蒂·托尔凯利 ,  维尔-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械器件，其包括仅包含均质硅材料的多层微机械结构。器件层包括至少一转子和至少两个定子。来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，并且来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。

公开(公告)号：CN106030315A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201580010237.0

申请日：2015-02-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维尔-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  G01P15/08

Abstract: 较不易受内部或外部电气干扰的鲁棒的微机电结构。该结构包括：运动元件，其具有被悬挂到支撑件的转子；第一框，其被锚定到支撑件，并且围绕运动元件；以及第二框，其被锚定到支撑件，并且在运动元件与第一框之间围绕运动元件，将第二框与第一框进行电隔离。将转子和第二框进行电耦接，以具有相同电位。

公开(公告)号：CN106062566B

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201580010996.7

申请日：2015-02-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维尔·阿赫泰 ,  维尔-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 一种微机电器件，包括第一结构层和可移动块，该可移动块被悬挂以进行相对于第一结构层的主离面运动。在可移动块中蚀刻有悬臂式运动限制器结构，并且在第一结构层上布置有与悬臂式运动限制器结构相对的第一止挡元件。利用元件间距的优化使用来实现改进的机械鲁棒性。

公开(公告)号：CN105452876B

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201480036160.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  维尔-佩卡·吕特克宁 ,  安斯·布卢姆奎斯特

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度传感器，其包括第一传感器(2)，第二传感器(4)和第三传感器(5)。第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第一梁(8)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第二梁(12)。第二传感器(4)被定位在由第一梁(8)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第一空间(17)中。第三传感器(5)被定位在由第二梁(12)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第二空间(18)中。

公开(公告)号：CN107667067A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201680027941.1

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安蒂·伊霍拉 ,  阿尔蒂·托尔凯利 ,  维尔-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库

IPC: B81B3/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械器件，其包括仅包含均质硅材料的多层微机械结构。器件层包括至少一转子和至少两个定子。来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，并且来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。