公开(公告)号：CN105683709A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480058865.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  托米·皮赖宁

IPC: G01C19/5719

Abstract: 一种微机电传感器设备，包括测震质量块和弹簧结构，该弹簧结构针对测震质量块限定驱动方向和感测方向，感测方向与驱动方向垂直。电容式换能器结构包括：定子，其要被锚定至静态支承结构；以及转子，其以机械方式连接至测震质量块。该电容式换能器结构被布置成倾斜的定向，其中，在驱动方向与定子表面的切线之间形成有非零角度。倾斜的电容式换能器结构产生静电力以减小线性振动的正交误差。

公开(公告)号：CN105683709B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201480058865.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  托米·皮赖宁

IPC: G01C19/5719

Abstract: 一种微机电传感器设备，包括测震质量块和弹簧结构，该弹簧结构针对测震质量块限定驱动方向和感测方向，感测方向与驱动方向垂直。电容式换能器结构包括：定子，其要被锚定至静态支承结构；以及转子，其以机械方式连接至测震质量块。该电容式换能器结构被布置成倾斜的定向，其中，在驱动方向与定子表面的切线之间形成有非零角度。倾斜的电容式换能器结构产生静电力以减小线性振动的正交误差。