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公开(公告)号：CN1126154C
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN95120071.2
申请日：1995-11-24
申请人： 株式会社半导体能源研究所 , 夏普公司
IPC分类号： H01L21/306 , H01L21/02 , H01L21/334 , C30B1/00
CPC分类号： H01L29/66757 , H01L29/78621 , H01L29/78675
摘要： 本发明涉及一种形成TFT的有源层的方法，该方法不会对有源层的侧面造成等离子体损坏。首先在玻璃衬底上形成结晶硅膜。然后将保护掩模放在该硅膜上。用主要包括囟族氟化物气体的蚀刻剂气体蚀刻该硅膜，于是形成有源层。在该过程中，蚀刻剂气体不变成等离子体，以便避免有源层侧面被等离子体损坏。ClF3可以用作卤族氟化物气体。
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公开(公告)号：CN1054942C
公开(公告)日：2000-07-26
申请号：CN94109084.1
申请日：1994-08-10
申请人： 株式会社半导体能源研究所 , 夏普公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L27/12 , H01L29/786
CPC分类号： H01L27/1277 , Y10S148/016 , Y10S438/982
摘要： 一种有源矩阵和液晶显示器，其外围电路部分中配置有迁移率高能容许大量导通状态电流流过的TFT，其像素部分中配置有截止状态电流小的TFT。这些性能不同的TFT是采用晶体生长方向平行于衬底的晶体硅薄膜构成的。就是说，令晶体生长方向与载流子流动方向之间形成的角度彼此不同从而控制载流子流动时受到的阻力进行确定TFT的性能。
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公开(公告)号：CN1206225A
公开(公告)日：1999-01-27
申请号：CN98103874.3
申请日：1994-08-10
申请人： 株式会社半导体能源研究所 , 夏普公司
IPC分类号： H01L21/84
CPC分类号： H01L27/1277 , Y10S148/016 , Y10S438/982
摘要： 一种有源矩陈和液晶显示器,其外围电路部分中配置有迁移率高能容许大量导通状态电流流过的TFT,其像素部分中配置有截止状态电流小的TFT。这些性能不同的TFT是采用晶体生长方向平行于衬底的晶体硅薄膜构成的。就是说,令晶体生长方向与载流子流动方向之间形成的角度彼此不同从而控制载流子流动时受到的阻力进而确定TFT的性能。
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公开(公告)号：CN1113409C
公开(公告)日：2003-07-02
申请号：CN98103874.3
申请日：1994-08-10
申请人： 株式会社半导体能源研究所 , 夏普公司
CPC分类号： H01L27/1277 , Y10S148/016 , Y10S438/982
摘要： 一种有源矩阵和液晶显示器，其外围电路部分中配置有迁移率高能容许大量导通状态电流流过的TFT，其像素部分中配置有截止状态电流小的TFT。这些性能不同的TFT是采用晶体生长方向平行于衬底的晶体硅薄膜构成的。就是说，令晶体生长方向与载流子流动方向之间形成的角度彼此不同从而控制载流子流动时受到的阻力进而确定TFT的性能。
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公开(公告)号：CN1134036A
公开(公告)日：1996-10-23
申请号：CN95120071.2
申请日：1995-11-24
申请人： 株式会社半导体能源研究所 , 夏普公司
IPC分类号： H01L21/306 , H01L21/02 , H01L21/334 , C30B1/00
CPC分类号： H01L29/66757 , H01L29/78621 , H01L29/78675
摘要： 本发明涉及一种形成TFT的有源层的方法，该方法不会对有源层的侧面造成等离子体损坏。首先在玻璃衬底上形成结晶硅膜。然后将保护掩模放在该硅膜上。用主要包括卤族氟化物气体的蚀刻剂气体蚀刻该硅膜，于是形成有源层。在该过程中，蚀刻剂气体不变成等离子体，以便避免有源层侧面被等离子体损坏。ClF3可以用作卤族氟化物气体。
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公开(公告)号：CN1108804A
公开(公告)日：1995-09-20
申请号：CN94109084.1
申请日：1994-08-10
申请人： 株式会社半导体能源研究所 , 夏普公司
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L27/1277 , Y10S148/016 , Y10S438/982
摘要： 一种有源矩阵和液晶显示器，其外围电路部分中配置有迁移率高能容许大量导通状态电流流过的TFT，其像素部分中配置有截止状态电流小的TFT。这些性能不同的TFT是采用晶体生长方向平行于衬底的晶体硅薄膜构成的。就是说，令晶体生长方向与载流子流动方向之间形成的角度彼此不同，从而控制载流子流动时受到的阻力进而确定TFT的性能。
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公开(公告)号：CN1115452A
公开(公告)日：1996-01-24
申请号：CN94117338.0
申请日：1994-09-01
申请人： 夏普公司
IPC分类号： G09F19/00
CPC分类号： G02B27/0172 , G02B5/30 , G02B27/017 , G02B27/2228 , G02B2027/0132 , G02B2027/0136 , G02B2027/0143 , G02B2027/0154 , G02B2027/0178 , H04N13/344 , H04N13/398
摘要： 本发明的风镜式显示装置包括提供图像给左眼的第一图像形成单元和提供图像给右眼的第二图像形成单元，第一和第二图像形成单元的每一个包含：将发自光源的光偏振的偏振光束分离器；以及反射型显示器件包括衬底，在这个衬底上形成开关电路，显示介质用以调制由偏振光束分离器偏振的光，以便提供具有图象信息的光，和一个电极层电连接到开关电路，用以将电压加到显示介质上，该电极层反射透过显示介质的入射在其上的光。
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公开(公告)号：CN1131456C
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：CN94117338.0
申请日：1994-09-01
申请人： 夏普公司
CPC分类号： G02B27/0172 , G02B5/30 , G02B27/017 , G02B27/2228 , G02B2027/0132 , G02B2027/0136 , G02B2027/0143 , G02B2027/0154 , G02B2027/0178 , H04N13/344 , H04N13/398
摘要： 本发明的风镜式显示装置包括提供图象给左眼的第一图象形成单元和提供图象给右眼的第二图象形成单元，第一和第二图象形成单元的每一个包含：将发自光源的光偏振的偏振光束分离器；以及反射型显示器件包括衬底，在这个衬底上形成开关电路，显示介质用以调制由偏振光束分离器偏振的光，以便提供具有图象信息的光，和一个电极层电连接到开关电路，用以将电压加到显示介质上，该电极层反射透过显示介质的入射在其上的光。
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