薄膜半导体、半导体器件以及薄膜晶体管的制造方法

    公开(公告)号:CN100592480C

    公开(公告)日:2010-02-24

    申请号:CN200610101669.5

    申请日:1997-02-23

    Abstract: 本发明涉及一种半导体器件,包括:在衬底上形成的薄膜晶体管,包括一个源区、一个漏区、形成在所述源区和漏区之间的沟道区、形成在所述沟道区上的栅电极,在所述栅电极和所述沟道区之间有一个栅绝缘膜;形成在所述薄膜晶体管上的层间绝缘膜;形成在所述层间绝缘膜上的源极布线、漏极布线、栅极布线;其中所述源区、漏区和栅电极中的每一个包括一个硅化物膜;其中所述源极布线、漏极布线和栅极布线分别被连接到所述源区的硅化物膜、所述漏区的硅化物膜和所述栅电极的硅化物膜。本发明还涉及包括上述半导体器件的便携式电话和照相机。

    半导体器件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100502053C

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200610100799.7

    申请日:1997-02-23

    Abstract: 一种薄膜半导体晶体管结构具有带有电介质表面的衬底和由半导体薄膜构成的有源层,半导体薄膜呈现相当于单晶的结晶度。为制作此晶体管,半导体薄膜形成在衬底上,此膜包括多种晶体的混合物,晶体可是大体上与衬底平行的柱状和/或毛发状晶体。然后,所得结构在含卤素的选定气氛中进行热氧化从而除去在膜中含有的任何金属元素。这就能形成单畴区,在单畴区中各柱状或发毛状晶体接触任何相邻晶体并且能大体认为是其中不存在或包含任何晶界的单晶区。此区用于形成晶体管的有源层。

Patent Agency Ranking