公开(公告)号：CN102569534A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110439853.1

申请日：2011-12-23

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 小田雄仁 ,  广濑贵史 ,  田中幸一郎 ,  加藤翔 ,  肥塚绘美

IPC: H01L31/20 ,  B41M1/12 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/075

CPC classification number: H01L31/022433 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 提供了一种微小电极、包括该微小电极的光电转换器件及其制造方法。在基板中形成有多个平行沟槽部分以及夹在这些沟槽部分之间的区域，并且导电树脂被提供给这些沟槽部分和该区域并且固定，由此用导电树脂来填充这些沟槽部分，并且用导电树脂来覆盖该区域。所提供的导电树脂没有向外扩展，并且可以形成具有设计宽度的电极。在夹在这些沟槽部分之间的区域上形成该电极的一部分，由此短轴方向上的横截面的面积可以是很大的，并且可以获得长轴方向上的低电阻。

公开(公告)号：CN102569534B

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201110439853.1

申请日：2011-12-23

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 小田雄仁 ,  广濑贵史 ,  田中幸一郎 ,  加藤翔 ,  肥塚绘美

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/022433 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 提供了一种微小电极、包括该微小电极的光电转换器件及其制造方法。在基板中形成有多个平行沟槽部分以及夹在这些沟槽部分之间的区域，并且导电树脂被提供给这些沟槽部分和该区域并且固定，由此用导电树脂来填充这些沟槽部分，并且用导电树脂来覆盖该区域。所提供的导电树脂没有向外扩展，并且可以形成具有设计宽度的电极。在夹在这些沟槽部分之间的区域上形成该电极的一部分，由此短轴方向上的横截面的面积可以是很大的，并且可以获得长轴方向上的低电阻。