非易失性半导体存储器件

    公开(公告)号:CN101431080A

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200810178673.0

    申请日:2007-02-01

    CPC classification number: H01L27/115 H01L27/11556 H01L27/11568

    Abstract: 本发明提供一种非易失性半导体存储器件,包括:半导体衬底;以矩阵状形成于半导体衬底上的多个半导体柱;在多个半导体柱之间、沿列方向以条带状形成于半导体衬底上的、作为字线的多个第一传导区域;分别形成于多个半导体柱的顶上的多个第二传导区域;沿行方向与多个第二传导区域相连接的多个位线;分别形成在第一和第二传导区域之间的多个半导体柱上的、与第一和第二传导区域相接触的多个沟道区域;在通过半导体衬底上方的第一绝缘膜连续形成的、在多个半导体柱之间沿列方向对着多个沟道区域的、并用作控制栅的多个第三传导区域;以及分别通过位于多个沟道区域上部的第二绝缘膜、在高于多个第三传导区域的位置上形成的多个电荷积累区域。

    半导体器件
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100388495C

    公开(公告)日:2008-05-14

    申请号:CN200510107175.3

    申请日:2005-09-28

    Inventor: 渡边浩志

    CPC classification number: H01L27/115 G11C13/0004 H01L29/7883

    Abstract: 一种半导体器件,包括输入接线端;第一时效器件,其源极连接到输入接线端,以便在τ1开启并在τ2(大于τ1)关闭;第二时效器件,其源极连接到输入接线端,栅极连接到第一时效器件的漏极,并且其漏极连接到第一时效器件的栅极,以便在τ3开启并在τ4(大于τ3)关闭;第一开关元件,其一个接线端连接到第一时效器件的漏极,以便在第二时效器件开启时关闭;第二开关元件,其一个接线端连接到第二时效器件的漏极,以便在第一时效器件开启时关闭;输出接线端,连接到第一开关元件和第二开关元件的另一个接线端。

    非易失性半导体存储装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101136414A

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200710148119.3

    申请日:2007-08-28

    Abstract: 能够实现微细化·大容量化,同时还能够得到对短沟道效应有很强抵抗力的存储器。具有:形成在半导体衬底上的第1绝缘膜;夹着上述第1绝缘膜地形成在上述半导体衬底上的半导体层;将多个具有形成在上述半导体层上的栅绝缘膜、形成在上述栅绝缘膜上的浮栅、形成在上述浮栅上的第2绝缘膜、形成在上述第2绝缘膜上的控制栅的存储单元晶体管串联而构成的NAND列;形成在上述NAND列一端的具有杂质扩散层的源极区域;以及形成在上述NAND列另一端的具有金属电极的漏极区域。

    非易失性半导体存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101013704A

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200710007976.1

    申请日:2007-02-01

    CPC classification number: H01L27/115 H01L27/11556 H01L27/11568

    Abstract: 一种非易失性半导体存储器件,包括半导体衬底;以矩阵状形成于半导体衬底上的多个半导体柱;在多个半导体柱之间、沿列方向以条带状形成于半导体衬底上的、作为字线的多个第一传导区域;分别形成于多个半导体柱的顶上的多个第二传导区域;沿行方向与多个第二传导区域相连接的多个位线;分别形成在第一和第二传导区域之间的多个半导体柱上的、与第一和第二传导区域相接触的多个沟道区域;在通过半导体衬底上方的第一绝缘膜连续形成的、在多个半导体柱之间沿列方向对着多个沟道区域的、并用作控制栅的多个第三传导区域;以及分别通过位于多个沟道区域上部的第二绝缘膜、在高于多个第三传导区域的位置上形成的多个电荷积累区域。

    非易失性半导体存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100533745C

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200710007976.1

    申请日:2007-02-01

    CPC classification number: H01L27/115 H01L27/11556 H01L27/11568

    Abstract: 一种非易失性半导体存储器件,包括半导体衬底;以矩阵状形成于半导体衬底上的多个半导体柱;在多个半导体柱之间、沿列方向以条带状形成于半导体衬底上的、作为字线的多个第一传导区域;分别形成于多个半导体柱的顶上的多个第二传导区域;沿行方向与多个第二传导区域相连接的多个位线;分别形成在第一和第二传导区域之间的多个半导体柱上的、与第一和第二传导区域相接触的多个沟道区域;在通过半导体衬底上方的第一绝缘膜连续形成的、在多个半导体柱之间沿列方向对着多个沟道区域的、并用作控制栅的多个第三传导区域;以及分别通过位于多个沟道区域上部的第二绝缘膜、在高于多个第三传导区域的位置上形成的多个电荷积累区域。

Patent Agency Ranking