公开(公告)号：CN114340846B

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202080061320.1

申请日：2020-09-07

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 武田邦义 ,  对马健夫 ,  深谷浩则 ,  新井裕介 ,  清水翼

IPC: B24B49/12 ,  B24B47/22 ,  B24B27/06 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明提供一种能够防止切割加工时的刀具与夹具的干涉、并且能够确保生产率的切割装置及方法。切割方法包括：测定工件(W)的形状的形状测定步骤；对准步骤，在该对准步骤中，取得工件的形状的测定结果，并基于所取得的测定结果，以沿着工件的分割预定线(CL1)且与用于进行工件的切割加工的刀具(32)的刃厚对应的宽度的线(CT1)收纳于夹具(J1)的夹具槽(G1)的方式来进行工件与夹具的对准；以及利用夹具吸附保持工件并沿着分割预定线对工件进行切割加工的步骤。

公开(公告)号：CN114340846A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202080061320.1

申请日：2020-09-07

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 武田邦义 ,  对马健夫 ,  深谷浩则 ,  新井裕介 ,  清水翼

IPC: B24B49/12 ,  B24B47/22 ,  B24B27/06 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明提供一种能够防止切割加工时的刀具与夹具的干涉、并且能够确保生产率的切割装置及方法。切割方法包括：测定工件(W)的形状的形状测定步骤；对准步骤，在该对准步骤中，取得工件的形状的测定结果，并基于所取得的测定结果，以沿着工件的分割预定线(CL1)且与用于进行工件的切割加工的刀具(32)的刃厚对应的宽度的线(CT1)收纳于夹具(J1)的夹具槽(G1)的方式来进行工件与夹具的对准；以及利用夹具吸附保持工件并沿着分割预定线对工件进行切割加工的步骤。