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公开(公告)号：CN103946982B
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201280056111.3
申请日：2012-11-02
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/357 , H04N5/374
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/14609 , H01L27/1464 , H01L27/14689
Abstract: 固体摄像装置具备：被配置为矩阵状的多个像素(11)；半导体衬底(101)；第一电极(113)，按每个像素(11)被形成在半导体衬底(101)的上方；光电转换膜(114)，被形成在第一电极(113)上，且对光进行光电转换，从而得到信号电荷；电荷积蓄区域(104)，被形成在半导体衬底(101)，积蓄由光电转换膜(114)进行光电转换而生成的信号电荷；接触插塞(107)，将对应的像素(11)的第一电极(113)与电荷积蓄区域(104)电连接；N型杂质区域(117)，被形成在电荷积蓄区域(104)的表面中的、与接触插塞(107)接触的区域；P型杂质区域(151)，被形成在不与接触插塞(107)接触的区域；以及低浓度N型杂质区域(150)，被形成在N型杂质区域(117)与P型杂质区域(151)之间。
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公开(公告)号：CN104412387A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201380032967.1
申请日：2013-03-08
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/374 , H04N5/3745
CPC classification number: H04N5/378 , H01L27/14603 , H01L27/1461 , H01L27/1464 , H01L27/14645 , H04N5/3745
Abstract: 本申请的固体摄像装置具备被配置成二维状的多个像素(10)，像素(10)具备：金属电极(11)；被形成在金属电极(11)上且将光转换成电信号的光电转换层(13)；被形成在光电转换层(13)上的透明电极(12)；与金属电极(11)电连接，且对来自光电转换层(13)的电荷进行积蓄的电荷积蓄区域(14)；输出与电荷积蓄区域(14)的电荷量相对应的信号电压的放大晶体管(15)；以及对电荷积蓄区域(14)的电位进行复位的复位晶体管(16)，复位晶体管(16)的栅极氧化膜的膜厚比放大晶体管(15)的栅极氧化膜(25)的膜厚厚。
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公开(公告)号：CN104380467A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380032847.1
申请日：2013-03-12
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/369
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/1461 , H01L27/14612 , H01L27/1463 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14645 , H01L27/307
Abstract: 本申请的固体摄像装置具备：电荷积蓄区域(104)，对由光电转换膜(114)光电转换的信号电荷进行积蓄；放大晶体管(108a)，将对应的像素(11)的电荷积蓄区域(104)中积蓄的信号电荷进行放大；接触插头(107)，由与电荷积蓄区域(104)电连接的半导体材料构成；以及布线(107a)，在接触插头(107)的上方，由半导体材料构成，接触插头(107)与电荷积蓄区域(104)电连接，接触插头(107)与放大晶体管(108a)的栅极电极经由布线(107a)而电连接。
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公开(公告)号：CN107833899A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201711055697.2
申请日：2013-03-08
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/3745
CPC classification number: H04N5/378 , H01L27/14603 , H01L27/1461 , H01L27/1464 , H01L27/14645 , H04N5/3745
Abstract: 本申请的固体摄像装置具备被配置成二维状的多个像素，所述多个像素的每一个具备：第一电压的半导体衬底；金属电极；光电转换层，被形成在所述金属电极上，并将光转换为电信号；透明电极，被形成在所述光电转换层上；电荷积蓄区域，形成在上述半导体衬底中，与所述金属电极电连接，并积蓄来自所述光电转换层的电荷；放大晶体管，输出与所述电荷积蓄区域的电荷量相对应的信号电压；以及复位晶体管，对所述电荷积蓄区域的电位进行复位，在所述复位晶体管导通时，所述复位晶体管的栅极被施加第二电压，在所述复位晶体管断开时，所述复位晶体管的栅极被施加第三电压，所述第一电压处于所述第二电压与所述第三电压之间。
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公开(公告)号：CN103703759B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201280037094.9
申请日：2012-07-30
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H04N5/357 , H04N5/359 , H04N5/3745
CPC classification number: H04N5/3742 , H04N5/3575 , H04N5/363 , H04N5/374 , H04N5/3745
Abstract: 本发明具备：外延层（2）；多个像素电极11）；被形成在多个像素电极上，将光转换成电信号的光电转换膜（12）；被形成在光电转换膜12）上的透明电极（13）；以与多个像素电极（11）分别对应的方式被形成在外延层（2）内，并与对应的像素电极（11）电连接，对通过光电转换而在光电转换膜（12）生成的电荷进行蓄积的n型电荷蓄积区域（14）；以与电荷蓄积区域（14）的底部分别接触的方式被形成在外延层（2）内的p型电荷势垒区域（21）；以与电荷势垒区域（21）的底部分别接触的方式被形成在外延层（2）内的n型电荷排出区域（22）。
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公开(公告)号：CN107833899B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201711055697.2
申请日：2013-03-08
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/3745
Abstract: 本申请的固体摄像装置具备被配置成二维状的多个像素，所述多个像素的每一个具备：第一电压的半导体衬底；金属电极；光电转换层，被形成在所述金属电极上，并将光转换为电信号；透明电极，被形成在所述光电转换层上；电荷积蓄区域，形成在上述半导体衬底中，与所述金属电极电连接，并积蓄来自所述光电转换层的电荷；放大晶体管，输出与所述电荷积蓄区域的电荷量相对应的信号电压；以及复位晶体管，对所述电荷积蓄区域的电位进行复位，在所述复位晶体管导通时，所述复位晶体管的栅极被施加第二电压，在所述复位晶体管断开时，所述复位晶体管的栅极被施加第三电压，所述第一电压处于所述第二电压与所述第三电压之间。
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公开(公告)号：CN104412387B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201380032967.1
申请日：2013-03-08
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/374 , H04N5/3745
CPC classification number: H04N5/378 , H01L27/14603 , H01L27/1461 , H01L27/1464 , H01L27/14645 , H04N5/3745
Abstract: 本申请的固体摄像装置具备被配置成二维状的多个像素(10)，像素(10)具备：金属电极(11)；被形成在金属电极(11)上且将光转换成电信号的光电转换层(13)；被形成在光电转换层(13)上的透明电极(12)；与金属电极(11)电连接，且对来自光电转换层(13)的电荷进行积蓄的电荷积蓄区域(14)；输出与电荷积蓄区域(14)的电荷量相对应的信号电压的放大晶体管(15)；以及对电荷积蓄区域(14)的电位进行复位的复位晶体管(16)，复位晶体管(16)的栅极氧化膜的膜厚比放大晶体管(15)的栅极氧化膜(25)的膜厚厚。
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公开(公告)号：CN104380467B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201380032847.1
申请日：2013-03-12
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/369
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/1461 , H01L27/14612 , H01L27/1463 , H01L27/1464 , H01L27/14643 , H01L27/14645 , H01L27/307
Abstract: 本申请的固体摄像装置具备：电荷积蓄区域(104)，对由光电转换膜(114)光电转换的信号电荷进行积蓄；放大晶体管(108a)，将对应的像素(11)的电荷积蓄区域(104)中积蓄的信号电荷进行放大；接触插头(107)，由与电荷积蓄区域(104)电连接的半导体材料构成；以及布线(107a)，在接触插头(107)的上方，由半导体材料构成，接触插头(107)与电荷积蓄区域(104)电连接，接触插头(107)与放大晶体管(108a)的栅极电极经由布线(107a)而电连接。
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