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公开(公告)号：CN1121810C
公开(公告)日：2003-09-17
申请号：CN98122788.0
申请日：1998-12-03
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: H01J37/32366 , H05H1/2406 , H05H2001/245 , H05H2245/123
Abstract: 本发明揭示一种等离子处理装置和等离子处理方法。包括具有外侧电极1的筒状反应管2及配置在反应管2内部的内侧电极3，反应管2内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体，同时在外侧电极1与内侧电极3之间加上交流电场，通过这样在大气压下使反应管2内部产生辉光放电，从反应管2喷出等离子喷气，并在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却装置。
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公开(公告)号：CN1294480A
公开(公告)日：2001-05-09
申请号：CN00130036.9
申请日：2000-10-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H2001/2456
Abstract: 一种等离子体处理装置,利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备,能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括:具有孔的产生等离子体的室,等离子体从该孔吹出;气体供应单元,用于将产生等离子体的气体送入室中;一对电极;电源,用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体;用于提供脉冲电压的脉冲发生器;以及点火电极,用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。
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公开(公告)号：CN1221967A
公开(公告)日：1999-07-07
申请号：CN98122788.0
申请日：1998-12-03
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/302 , C23C16/50 , C23C14/32 , H05H1/24
CPC classification number: H01J37/32366 , H05H1/2406 , H05H2001/245 , H05H2245/123
Abstract: 本发明揭示一种等离子处理装置和等离子处理方法。包括具有外侧电极1的筒状反应管2及配置在反应管2内部的内侧电极3,反应管2内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体,同时在外侧电极1与内侧电极3之间加上交流电场,通过这样在大气压下使反应管2内部产生辉光放电,从反应管2喷出等离子喷气,并在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却手段。
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公开(公告)号：CN1334694A
公开(公告)日：2002-02-06
申请号：CN01118648.8
申请日：2001-06-06
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/26 , H01L21/3065 , C23C14/22
CPC classification number: H01J37/32357
Abstract: 提供一种等离子体处理设备和一种等离子体处理方法,使用等离子体以高速均匀地处理物体。它包括:一个具有侧向延长横截面的管状容器;一对电极,当AC电压或脉冲电压之一加到电极之间时,电力线大体上在管状容器的轴向;一个气体供应源,用来给管状容器提供流光产生气;一个电源,用来给电极之间提供电压以在管状容器里产生气体的多种流光;和一个等离子体均匀装置,用来使多种流光在管状容器侧向延长横截面的侧向均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1700953A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200480001115.7
申请日：2004-05-26
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: B01J19/08 , C23C4/00 , H05H1/24 , H01L21/304 , H05K3/26
Abstract: 本发明公开一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置能够每次处理较大面积，并具有良好的处理均匀性。该装置包括具有通孔的一对电极板和具有通孔的绝缘板。该绝缘板被设置于电极板之间，从而使得电极板的通孔位置对应于绝缘板的通孔位置。从而，由电极板的通孔和绝缘板的通孔形成多个放电空间。通过供应等离子体生成气体到放电空间中，并且在电极板之间施加电压，同时，在放电空间同时生成等离子体。通过将由此生成的等离子体喷射到待处理物体上，有效进行大面积等离子体处理。
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公开(公告)号：CN1170460C
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN00130036.9
申请日：2000-10-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H2001/2456
Abstract: 一种等离子体处理装置，利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备，能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括：具有孔的产生等离子体的室，等离子体从该孔吹出；气体供应单元，用于将产生等离子体的气体送入室中；一对电极；电源，用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体；用于提供脉冲电压的脉冲发生器；以及点火电极，用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。以及一种使用该等离子体处理装置的等离子体产生方法，该方法包括步骤：将产生等离子体的气体送入所述室，再利用所述点火电极向实质上等于大气压力的压力下的所述气体供给脉冲电压，以便在所述室中产生等离子体。
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公开(公告)号：CN101889356A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200880119636.0
申请日：2008-12-05
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/507 , H01L33/58 , H01L33/60 , H01L33/644 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
Abstract: 一种发光装置(1)，包括：LED芯片(10)以及其上安装有LED芯片(10)的安装基板(20)。进一步地，发光装置(1)包括覆盖组件(60)和色彩转换层(70)。覆盖组件(60)形成为具有穹顶形状且由半透明无机材料制成。色彩转换层(70)形成为具有穹顶形状且由包括荧光材料的半透明材料(如硅树脂)制成，该荧光材料被从LED芯片(10)发出的光所激发，并且发出波长比从LED芯片(10)发出的光的波长长的光。覆盖组件(60)与安装基板(20)相连附，使得在覆盖组件(60)和安装基板(20)之间具有空气层(80)。色彩转换层(70)被叠置在覆盖组件(60)的光入射表面或光出射表面上。
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公开(公告)号：CN1323751C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200480001115.7
申请日：2004-05-26
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: B01J19/08 , C23C4/00 , H05H1/24 , H01L21/304 , H05K3/26
Abstract: 本发明公开一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置能够每次处理较大面积，并具有良好的处理均匀性。该装置包括具有通孔的一对电极板和具有通孔的绝缘板。该绝缘板被设置于电极板之间，从而使得电极板的通孔位置对应于绝缘板的通孔位置。从而，由电极板的通孔和绝缘板的通孔形成多个放电空间。通过供应等离子体生成气体到放电空间中，并且在电极板之间施加电压，同时，在放电空间同时生成等离子体。通过将由此生成的等离子体喷射到待处理物体上，有效进行大面积等离子体处理。
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公开(公告)号：CN1165208C
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN01118648.8
申请日：2001-06-06
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/26 , H01L21/3065 , C23C14/22
CPC classification number: H01J37/32357
Abstract: 提供一种等离子体处理设备和一种等离子体处理方法，使用等离子体以高速均匀地处理物体。它包括：一个具有侧向延长横截面的管状容器；一对电极，当AC电压或脉冲电压之一加到电极之间时，电力线大体上在管状容器的轴向；一个气体供应源，用来给管状容器提供流光产生气；一个电源，用来给电极之间提供电压以在管状容器里产生气体的多种流光；和一个等离子体均匀装置，用来使多种流光在管状容器侧向延长横截面的侧向均匀。
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