公开(公告)号：CN1121810C

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN98122788.0

申请日：1998-12-03

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 澤田康志 ,  山崎圭一 ,  井上吉民 ,  岡崎幸子 ,  小駒益弘

IPC: H05H1/28 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32366 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/245 ,  H05H2245/123

Abstract: 本发明揭示一种等离子处理装置和等离子处理方法。包括具有外侧电极1的筒状反应管2及配置在反应管2内部的内侧电极3，反应管2内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体，同时在外侧电极1与内侧电极3之间加上交流电场，通过这样在大气压下使反应管2内部产生辉光放电，从反应管2喷出等离子喷气，并在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却装置。

公开(公告)号：CN1221967A

公开(公告)日：1999-07-07

申请号：CN98122788.0

申请日：1998-12-03

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 泽田康志 ,  山崎圭一 ,  井上吉民 ,  岡崎幸子 ,  小驹益弘

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/302 ,  C23C16/50 ,  C23C14/32 ,  H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32366 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/245 ,  H05H2245/123

Abstract: 本发明揭示一种等离子处理装置和等离子处理方法。包括具有外侧电极1的筒状反应管2及配置在反应管2内部的内侧电极3,反应管2内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体,同时在外侧电极1与内侧电极3之间加上交流电场,通过这样在大气压下使反应管2内部产生辉光放电,从反应管2喷出等离子喷气,并在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却手段。